Roth-Rau设备管理作业规范.docVIP

浙江弘晨光伏能源有限公司 文件编号： HC–ME–OP– 文件名称 Roth-Rau PECVD设备管理作用规范 版本/修订： A /0 制定部门： 设备设施部 生效日期： 2011-05 制定、修正记录 序 版本/修订 制、改日期 制定、修改内容摘要 编制 审 核 批准 1 A/0 2011.5 文件首次制定 葛建良 1.目的: 定义Roth-Rau PECVD生产过程的设备操作说明及保养规范；设备验收、维修、保养、报废规范管理更具系统性，有利于做工作的传承。 : 本规范仅适用于弘晨光伏电池设备Roth-Rau PECVD段。 3.定义： PECVD：借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体 4.: 4.1 设备技术员负责设备调试、维护、保养；设备工程师负责的验收、维修、保养、报废处理管理。 4.2 设备工程师、主管负责监督本部门的执行状况。 4.3 本规范之变更须经设备主管或更高权责人员认可方能执行。 5.程序 设备管理内容 5.Roth-Rau PECVD设备操作说明 5.1.1Roth-Rau PECVD设备开关机顺序动作 1.打开总配电柜3相电源开关 2.2.打开设备压缩空气、氮气、NH3，SiH4及循环水开关 3.打开设备电源和电脑开关 4.进入PECVD软件控制界面开启加热及运行工艺 5.1.2 Roth-Rau PECVD设备关机顺序 1．关闭加热系统，降温至200°以下 2. 关闭PECVD控制软件和电脑及电源 3. 关闭设备压缩空气、氮气、NH3，SiH4及循环水开关 4.关闭设备总配电柜3相电源开关 5.2设备操作 5.2.1 点击主界面中的“控制”菜单，进入左图所示运行过程界面， 在工艺方案一栏选择所要运行的工艺，选择后点击“加载” “开启”，待工艺条件满足后，在传输栏点击“开启”、“Start ext.TS”,开 始进行传输 5.2.2 断电应先关闭总电源开关铡刀,再关闭UPS电源开电应先开 启UPS电源,再开启总电源 5.2.3 如果开启冷却水阀,应先开回水阀,再开进水阀 5.2.4 设备技术员每天需对Roth-Rau PECVD设备进行巡检并填写《Roth-Rau PECVD每日点检表》 5.2.5 设备有任何异常（包括异常声音、震动等）应及时向相关工程师反应。 5.3 设备操作说明 5.3.1 设备紧急停止操作，信号灯确认 5.3.2 机器设置 1.运行正确的工艺文件 2.按照规定位置放置石墨框位置 3.加入产品开始生产 5.4 设备验收配件申购、使用、维修、保养、报废作业规范 5.4.1验收、配件申购 设备验收需要对设备外观，功能，类型进行确认。设备在运行期间进行调试使设备在理想状态下工作。备件申购需要填写《物料申请单》 5.4.2 维修 设备技術員在设备日常使用中，有印刷设备，测试设备损坏 要及时维修其需填写《维护申请单》 5.4.3 保养 由设备技术员对丝网印刷设备和测试设备进行《Roth-Rau PECVD周保养表》，和《Roth-Rau PECVD月保养表》项 目的保养。