灯丝污染及常见处理方法.pdf

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2018-06-07 发布于天津
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灯丝污染及常见处理方法

灯丝污染及常见处理方法  污染的来源大家都知道光电子能谱仪必须在超高真空环境下才能正常工作。但是我们所说的 “真空”并不是没有任何残余气体的绝对真空，在真空腔室中总是或多或少有一些残余气体。真空规检测到的压力值越低，则真空度越好，残余气体越少。这些残余气体在真空腔室内无规则运动，一部分被真空泵抽出室外，另一部分会吸附在腔壁、灯丝和样品表面上。下表列出了在不同的真空度下残余气体要在表面上吸附满一个原子单层所需要的理论计算时间： Pressure (Torr) Time 10-4 0.02 sec 10-5 0.2 sec 10-6 2 sec 10-7 20 sec 10-8 3 min 10-9 35 min 10-10 6 hrs 10-11 3 days 1E-4 1E-4 1E-5 1E-5 ) 1E-6 ) 1E-6 r r r r o 1E-7 o 1E-7 T T ( ( e 1E-8 e 1E-8 r r u u s s s 1E-9 s 1E-9 e e r r P 1E-10 P 1E-10 1E-11 1E-11 -1 0 1 2 3 4 5 0.0 4 5 5 5 10 10 10 10 10 10 10 5.0x10 1.0x10 1.5x10 2.0x10 Time (s)