压电效应 微机电系统技术 知识基础课件.pptVIP

第二章微机电系统功能材料;2.3 压电材料;★正压电效应：在机械应力作用下，将机械能转换为电能。 当沿着一定方向对某些电解质加力而使其变形时，在一定表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电状态。;微机电系统功能材料;压电效应表达式如下： ;石英晶体的坐标轴选取;Date;Q=d·F;Date;Q=d·F;dij--压电系数 D--电位移 E--电场强度 ε--应变 б--应力;“短路条件”下压电常数;石英晶体的压电系数矩阵;Z轴： 中性轴 Y轴：机械轴 X轴：电轴;应用;微机电系统功能材料;2.3.3 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质, 如图（a）所示。  ; 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强， 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性, 如图（b）所示。 ;Date;压电陶瓷的压电系数矩阵;Date;压电陶瓷材料有很多种，最早的是钛酸钡，现在最常用的是锆钛酸铅（PZT） 利用材料复合技术，也研制出不少类型的压电复合材料。如 聚偏二氟乙烯 混合材料:填充压电陶瓷借以增强压电效应，聚合物相则可以降低材料的密度和介质常数，增加材料的柔性;微机电系统功能材料;Piezoelectric Coefficients and Other Relevant Properties for a Selected List of Piezoelectric;　在以一定的升温速度加热高聚物驻极体时,能使原来“冻结”的极化电荷释放出来,这种电荷称为热释电效应(pyroelectric effect )。 高聚物驻极体polymeric?electret 在无外电场作用下，能半永久保持电极化状态，并向周围环境施加电作用力的聚合物电介质。 ;　一尺寸效应： 所谓尺寸效应是假定偶极子为刚性,不随外加应力变化,是由膜厚变化所引起了压电性. 厚度的减小会使膜表面的诱导电荷增加. 二是结晶相的本征压电性： 结晶相的压电性由电致伸缩效应及剩余极化所决定. 晶相和非晶相的介电常数具有不同的应变依赖性, 材料处于极化状态时,由电致伸缩效应产生压电性. 晶区的极化强度对应变具有依赖性,使晶区产生内部压电性.;热释电常数矩阵;微机电系统功能材料;聚偏二氟乙烯（PVDF）;Date;微机电系统功能材料;六角形结构(?nm)晶面构成谐振腔 Lasing;Date;Date;微机电系统功能材料;直流溅射法制备ZnO薄膜的AFM图;Date; 总结