【书】直拉硅单晶工艺学.doc

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2018-05-23 发布于四川
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直拉硅单晶工艺学前言本教材是通过多年的实践经验和一定的教学经验编写而成。编写过程中力求教材通俗易懂，联系生产实际。由于编者水平有限，错误之处在所难免，请读者批评指正，编者深表感谢。绪论硅单晶是一种半导体材料。直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶的一门科学，它研究的主要内容：硅单晶生长的一般原理，直拉硅单晶生长工艺过程，改善直拉硅单晶性能的工艺方法。直拉单晶硅工艺学象其他科学一样，随着社会的需要和生产的发展逐渐发展起来。十九世纪，人们发现某些矿物，如硫化锌、氧化铜具有单向导电性能，并用它做成整流器件，显示出独特的优点，使半导体材料得到初步应用。后来，人