5973扩散泵拆解.docVIP

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2018-05-23 发布于四川
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5973扩散泵经历了返油严重污染，迫不得也清洗离子源，四级杆和所有真空环境下的零件。如下图：先申明，这个帖子不是写出来让大家都来拆仪器的哦，要有十足的把握才能做（建议至少对各部件原理及构造闭着眼睛都能把握，我是这样认为的），要不然损失可能会很大。下图是四级杆，离子源，扩散泵的全拆合影图，全部都用棉签擦过后拍的照。下面垫了不起毛的布，防止磨损和滑动造成的损伤。拆机注意事项，一关二放！关就是关闭所有的电源并断开，“放”指的是放静电，拆机的时候最好带上防静电手环，不要对任何部件造成人为的损伤。总的来说做到胆大心细，胸有成竹就可以了。也是合影，多了工具包和氧化铝，右上角是扩散泵的散热风扇，左