第十章 节 谐振式传感器 《传感器（第5版）》课件.pptxVIP

普通高等教育“十一五”国家级规划教材; 第一节 原理与类型 第二节 应用举例;定义：谐振式传感器是直接将被测量变化转换为物体谐振频率变化的装置，故也称为频率式传感器。 特点： 优点：高精度(0.01%)、高分辨率、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接 、高稳定性和高可靠性 。 缺点：要求材料质量较高，加工工艺复杂，所以生产周期长，成本较高 ；输出频率与被测量往往是非线性关系，需进行线性化处理 。 种类：电式、机械式、原子式。;机械式谐振传感器将被测量转换为物体的机械谐振频率，其中振动部分被称为振子。 一、基本原理 振子谐振频率f： 振子谐振频率f与其刚度k和等效振动质量me有关，设其初始谐振频率为f0。 如果振子受力或其中的介质质量等发生变化，则导致振子的等效刚度或等效振动质量发生变化，从而使其谐振频率发生变化。 ;谐振式传感器的组成 振子； 激振元件：对振子施加激振力； 拾振元件：测量振子的振动频率。;因为ΔT/T 1，所以可将上式中括弧里的项展开为幂级数，则上式为 单根振弦测压力时的非线性误差δ为 ;为了得到良好的线性，常采用差动式结构。上下两弦对称，初始张力相等，当被测量作用在膜片上时，两个弦张力变化大小相等、方向相反。通过差频电路测得两弦的频率差，则式(10-3)中的偶次幂项相抵消，使非线性误差大为减小，同时提高了灵敏度、减小了温度的影响。 ;（二）振膜式谐振传感器 ;（三）振筒式谐振传感器 ;（四）振梁式谐振传感器 ;（五）压电式式谐振传感器 特点：振子和圆筒由一整块石英加工；空腔为真空；振子两边一对电极连接外电路组成振荡电路。 原理：静态压力p→静应力→切变模量E66→固有频率f0 公式：;一、典型的谐振式传感器 （一）振弦式力传感器 测量锚索/锚杆加载或长期工作时的应力变化； 工作原理：承压筒载荷转换为筒体应变。 ;（二）振膜式压力传感器 性能优异： 高的稳定性、重复性和较高灵敏度（0.3~0.5kPa/Hz）； 测量精度可达0.01%，重复性达十万分之几，稳定性每年0.01%~ 0.02% 。 应用： 航空航天领域测大气参数（静压及动压）、飞行高度、飞行速度等； 标准计量仪器对其他压力传感器标定。;（三）振筒式传感器 优点：迟滞误差和漂移误差小，稳定性好，分辨率高以及轻便、成本低。 测量对象：气体的压力和密度。;单管式的工作原理：激磁线圈3使振筒振动时，管中的被测介质随之振动，介质质量必然附加在筒的质量上，结果系统谐振频率被改变并由拾振线圈4检测。介质密度不同使系统谐振频率不同，由此可确定介质密度值，这就是它的工作原理。 单管式的缺点：管子被固定的两端对固定块有一反作用力，将引起基座的运动，结果改变了系统的谐振频率，导致测量误差。;双管式的特点： 两根管子的振动频率相同但方向相反，因此它们对固定基座的作用相互抵消，不会引起基座的运动，从而提高了振动管振动频率的稳定性。 被测介质流过传感器的两根平行的振动管，管子的端部固定在一起，形成一个振动单元。 振动管与外部管道采用软性联结(如波纹管)，以防止外部管道的应力和热膨胀对管子振动频率的影响。 激振线圈和拾振线圈放在两根管子中间，管子以横向模式振动，通常是一次振型，如图中虚线所示。;（四）振梁式压力传感器 测力范围10e7N，固有频率动态范围为50Hz,故可测静态力和准静态力； 包含两个振动系统； 由于这种传感器只有单根振梁，因此，非线性误差较大，当频率变化10%，就有3%~5%的非线性误差。;（五）压电谐振式压力传感器 石英晶体的振动模式有：长度伸缩、弯曲、面切变和厚度切变等；;二、典型的激振方式 （一）开环电路（间歇激励式电路）;工作原理： 当张驰振荡器给出激励脉冲时，继电器吸合，电流通过磁铁线圈，使磁铁吸住振弦。 脉冲停止后松开振弦，振弦便自由振动、与线圈磁铁的间隙就周期性地变化，在线圈中产生感应电动势并经继电器常闭接点输出。 感应电动势的频率即为振弦的固有频率。 线圈兼有激励和拾振两种作用。 ;为提高线性度，以f2为电路输出。;（二）闭环激振 这种电路也称作连续激励方式，它是如图10-16所示的自激振荡闭环正反馈系统。为使传感器稳定工作，在设计和选择各环节的传递函数和参数时，应保证振子在激振力作用下能由起振到做等幅振荡，其频率即为振子谐振频率。;连续激励方式又可分为电流法、电磁法、电荷法三种。 1. 电流法;当横向刚度系数为ct的振弦偏离初始平衡位置，有一个横向位移x时，其弹性力F2=-ct x。由于v=dx/dt ，e2= vBlB ，则由此产生感生电动势;2. 电磁法 该