激光脉冲电解射流复合加工技术试验分析-experimental analysis of laser pulse electrolytic jet compound processing technology.docx

激光脉冲电解射流复合加工技术试验研究 激光脉冲电解射流复合加工技术试验研究 南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 VI VI VII VII 图表清单 图 1.1 特种加工中典型复合加工示意图2 图 1.2 涡轮叶片上激光加工的气膜冷却孔2 图 1.3 脉冲激光加工的小孔和微孔阵列3 图 1.4 激光加工的微孔阵列（30μm）及其再铸层 4 图 1.5 Ni3Al 材料激光打孔化学研磨处理前后的形貌比较 4 图 1.6 镍铬钛合金防溅射复合掩膜激光打孔与传统激光打孔效果的比较 5 图 1.7 水导激光加工原理示意图及实貌图7 图 1.8 传统激光加工与水射流激光加工对印刷模板打孔的比较 7 图 1.9 高频窄脉冲电流加工的微细结构9 图 1.10 纳秒脉冲电解加工的微细孔9 图 1.11 TMEMM 加工的群孔（材质为 Ti） 10 图 1.12 掩膜微细电解群孔加工样品10 图 1.13 掩膜电解加工的活塞10 图 1.14 电液束小孔加工技术11 图 1.15 电喷射加工效果图12 图 2.1 激光打孔原理图15 图 2.2 激光打孔过程15 图 2.3 水导激光加工与传统激光加工对比16 图 2.4 加工放电现象17 图 2.5 电解射流加工原理图17 图 2.6 激光脉冲电解射流耦合系统示意图18 图 2.7 电解液射流束径向截面折射率分布19 图 2.8 子午光线在电解液射流束中的反射19 图 2.9 射流液束稳定性较差时加工出的小孔形貌图 20 图 2.10 破碎长度与射流喷射速度关系20 图 2.11 激光脉冲电解射流复合加工原理图 21 图 3.1 激光脉冲电解射流复合加工系统示意图 24 图 3.2 激光脉冲电解射流复合加工系统实物图 24 图 3.3 不同长径比喷嘴内部结构图26 图 3.4 离喷嘴端面 2.5mm 截面上速度分布图 26 图 3.5 不同长径比喷嘴仿真效果图27 图 3.6 喷嘴结构与实物图27 图 3.7 激光脉冲电解射流复合加工耦合喷射装置 28 图 3.8 破碎长度的氦氖激光测量效果图29 图 3.9 复合加工的高压脉冲电源及控制系统示意图 29 图 3.10 高压脉冲电源实物图30 图 3.11 电解液循环过滤系统示意图 30 图 3.12 工装夹具 31 图 3.13 Nd：YAG 激光器主机构成图 32 图 4.1 有限元电场分析数学模型33 图 4.2 电解射流加工有限元电场强度云图34 图 4.3 距喷嘴中心的表面电流密度分布图34 图 4.4 显微镜 Mitutoyo 测量仪 35 图 4.5 表面形貌仪 MicroXAM 3D Profiler 35 图 4.6 电解加工电压对微坑成形规律的影响35 图 4.7 不同电解加工电压下的微坑形貌图36 图 4.8 喷射压力对微坑成形规律的影响36 图 4.9 不同电解液压力下微坑剖面图37 图 4.10 初始加工间隙对微坑成形规律的影响37 图 4.11 占空比对微坑成形规律的影响38 图 4.12 不同占空比条件下加工出微坑形貌图38 图 4.13 加工时间对微坑直径及深度的影响39 图 4.14 侧面间隙测量示意图39 图 4.15 不同电解加工电压下加工的微槽40 图 4.16 不同脉冲宽度下加工的微槽41 图 4.17 不同扫描速度下加工的微槽42 图 5.1 激光脉冲电解射流复合加工工艺参数关系示意图44 图 5.2 复合加工和单脉冲电解射流加工对加工深度的影响46 图 5.3 激光能量对材料去除率的影响47 图 5.4 激光频率对材料去除率的影响47 图 5.5 电解加工电压对材料去除率的影响47 图 5.6 占空比对材料去除率的影响47 图 5.7 初始加工间隙对材料去除率的影响48 图 5.8 空气中激光加工小孔的 SEM 照片 49 图 5.9 激光脉冲电解射流复合加工小孔的 SEM 照片 49 图 5.10 通孔锥度的测量49 图 5.11 电解加工电压对锥度的影响50 图 5.12 占空比对锥度的影响50 图 5.13 初始加工间隙对锥度的影响50 图 5.14 激光脉冲电解射流复合加工技术凹坑加工试件52 图 5.15 激光脉冲电解射流复合加工技术刻槽加工试件52 图 5.16 激光脉冲电解射流复合加工技术小孔孔加工试件（直径 0.4mm 喷嘴） 52 图 5.17 激光脉冲电解射流复合加工技术小孔加工试件（直径 0.2mm 喷嘴） 53 图 5.18 电解液射流束引导激光加工效果图53 图 5.19 激光脉冲电解射流复合加工效果图53 图 5.20 GH3030 合金片上激光