现代材料分析方法 电子束与材料的作用.pdfVIP

第三章 粒子束与材料的相互作用 第三章 粒子束与材料的相互作用 内容： § 3.1 电子束与材料的相互作用。 内容： 重点：电子束与材料作用产生的信号及用途。 重点：电子束与材料作用产生的信号及用途。 难点：信号的区分 。 难点：信号的区分 。 目的：通过学习掌握电子束与材料相互作用的 目的：通过学习掌握电子束与材料相互作用的 类型、原理，并清楚其主要用途及相应的测试 类型、原理，并清楚其主要用途及相应的测试 方法 。 方法 。 §3.1 电子束与材料的相互作用 一、 入射电子与固体中粒子的作用类型 二、 散射 三、 吸收 四、电子与固体作用产生的信号 00:04 材料现代分析方法 2 §3.1 电子束与材料的相互作用 一、 入射电子与固体中粒子的作用类型 在材料分析方法中，电子束是一种最常用 的入射激发源之一。电子束在照射固体时与固 体中的粒子相互作用有： a. 入射电子的散射 （库仑力作用） a. 入射电子的散射 b. 入射电子对固体的激发 b. 入射电子对固体的激发 c. 入射电子在固体中的传播 c. 入射电子在固体中的传播 00:04 材料现代分析方法 3 §3.1.1 入射电子与固体中粒子的作用类型 有关概念： 一次电子：入射电子，即照射固体的电子。 二次电子 I ：入射电子轰击出的固体电子。 s （真）二次电子：入射电子直接撞击出固 体的原子核外电子。 特征二次电子：入射电子与固体作用时 激发态原子退回基态时产生的电子发射，如 俄歇电子。 二次电子产额δ：二次电子流Is与入射电子流I0 的比值： δ= I /I s 0 入射角α：入射束与固体表面法线的夹角。 00:04 材料现代分析方法 4 §3.1.1 入射电子与固体中粒子的作用类型 有关概念： 背散射电子 IR ：入射电子与固体作用后 又离开固体的电子。 由被固体表面的原子直接反射回来的 入射电子与进入固体后通过散射不断改变 方向，最后又从固体表面发射出来的入射 电子两部分组成。前者为弹性背散射电 子，后者为非弹性背散射电子。 00:04 材料现代分析方法 5 二、 散射 电子束照射固体，与固体中的电子及原 子核作用而产生散射。有弹性和非弹性两种。 1．弹性散射 弹性散射： 入射电子与固体中原子 （核）的作用。 原子 因原子质量远大于电子质量，散射后入 散射后入 射电子的能量基本不发生变化，只是改变了 射电子的能量基本不发生变化，只是改变了 方向。 方向 00:04 材料现代分析方法 6