微流控芯片设计加工能力简介8.PDFVIP

微流控芯片设计加工能力简介 目录： 1、简介 2 、微流控芯片设计能力介绍 3、可供选择的各种微流控芯片加工方法介绍 4 、现有微流控芯片测试和加工设备介绍 5、现有微流控芯片基材、耗材工具 6、已编制完成的微流控芯片实验操作标准 联系人：范一强 电话 电子邮件：fanyq@mail.buct.edu.cn 1、简介 课题组的研究方向为各类微流控芯片的加工技术，到目前为止，拥有了 较为完善的基于玻璃、PDMS 、PMMA 、COC、纸等材质的微流控芯片的设 计、数值仿真与微加工能力。拥有较为完整的微流控芯片配套加工和测试设 备，可以采用二氧化碳激光、紫外光刻、机械加工、3D 打印、喷蜡打印等多 种方法加工各种材质、精度和成本要求的微流控芯片并进行相应的测试。部 分成熟的微流控芯片加工技术已经制定了标准化操作流程，重复性良好，有 规模化生产潜力并申请专利多项。 2、微流控芯片设计能力介绍 根据生命科学和分析化学等领域的需要，可以完成各类基于聚合物、 纸、玻璃、硅等材料的单/ 多层微流控芯片设计。课题组可完成的微流控芯片 设计不仅限于传统的只具有单一混合、液体输运、反应等功能的微流控芯 片，还可根据要求进行多功能集成或带有金属电极的复杂微流控芯片的设计 和多物理场环境下的数值仿真。前期已经有过设计经验的微流控芯片有： 1. 液体混合芯片（各种流道布置）：两种或多种液体在微流控芯片中通过 主动或者被动的混合方式在特定的时间或流道长度内完成混合。 2. 高通量液滴产生芯片：通过单一或者多液滴产生器并行工作的方式在微 流控芯片中短时间内产生大量（百万数量级）的单/双包裹液滴。液滴可 应用于单细胞检测、DNA 等生物大分子的包裹、数字 PCR 等应用。 3. 微流体聚焦以及细胞计数/分选芯片：通过流体聚焦的方式实现细胞的筛 选，并使用预埋的金属电极进行流道中细胞的融合、计数等操作。 4. 模块化微流芯片套件（使用者可自行组装）：将传统微流控芯片拆分为 具有各种具有单一功能（阀、混合器、反应器、液滴产生器等）模块， 使用者可以根据实验要求自行组装。 5. 需要布置金属电极的微流控芯片：基于 PDMS 以及各类热塑性聚合物材 料，可供选择的电极布置方法包括金属溅射（Sputtering）、喷涂导电金 属银胶、预埋金属薄片等方法。 6. 基于蜡打印的纸基微流控芯片：通过喷蜡打印机在纸质基底上打印出图 案，从而在亲水的纸质材料上通过疏水的蜡制成亲疏水壁垒，可用于制 作各类一次性检测用途纸基微流控芯片。 3 、可供选择的各种微流控芯片加工方法介绍 1. 二氧化碳激光烧蚀技术。通过二氧化碳激光烧蚀技术加工基于 PMMA 、 PS 、PC 、COC、COP 等材料的微流控芯片。其特点是材料适应性广，绝 大部分热塑性塑料都可使用(玻璃和金属不适用) ，加工速度快且成本非常 低廉，通道的最小尺寸为 40-80µm 。单块微流控芯片的典型加工时间在5 分钟内。 二氧化碳激光器加工微流控芯片工作原理 二氧化碳激光器加工完成的微流控芯片（PMMA 材质，液滴产生器） 2. 基于 SU-8 光刻胶的 PDMS 倒模加工技术。通过使用传统的光刻方法，以 SU-8 光刻胶作为模具，可以制作基于 PDMS 材质的微流控芯片。特点是 加工精度高，通道深宽比大，采用实验室现有设备，最小通道尺寸可以 达到 10µm。典型加工时间3 小时左右（SU-8 胶光刻、冲洗，PDMS 倒 模、等离子表面处理、键合）。 基于 SU-8 光刻胶的 PDMS 倒模加工技术(PDMS-玻璃)