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涡轮分子泵 物理基础知识 物理基础知识 物理基础知识 分子流 涡轮分子泵 (1) 转子的作用 涡轮分子泵(2) 广域的概念 广域涡轮分子泵 （Siegbahn型） 广域涡轮分子泵 （Hollweck型） Hollweck 和 Siegbahn 泵的工作原理(1) Hollweck 和 Siegbahn 泵的工作原理(2) 选择前级泵的方法 (1) 选择前级泵的方法(2) 抽取腐蚀性气体 广域机械涡轮分子泵系列 典型机械涡轮分子泵系列 磁悬浮涡轮分子泵系列 莱宝的新一代涡轮分子泵 通信接口 25年的磁悬浮涡轮分子泵生产经验 1975年生产出第一台磁悬浮涡轮分子泵 1990年MAG340/400进入半导体行业。 1998年MAG2000模拟磁悬浮涡轮分子泵进入半导体市场。 2001年第一台数字磁悬浮涡轮分子泵出厂。 上保护轴承 下保护轴承 磁浮系统（上） - 主动定位 磁浮系统（下） - 主动定位 位置传感器 ( 轴向 ) 轴向磁轴承 - 主动定位 位置传感器 ( 径向) 位置传感器 ( 径向 ) 五轴定位磁悬浮轴承 磁悬浮轴承系统的对比 产品系列 磁悬浮涡轮分子泵的生产和应用经验 20年的半导体行业应用经验 安装应用的磁浮涡轮分子泵超过40,000台 新一代涡轮分子泵的特点 节省整个真空系统的成本 可以使用更小的前级泵达到相同的抽速 集成的控制