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mst700国内首颗量产mems力传感器
国内首颗量产MEMS力传感器介绍
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
2016年5月
公司概况
中国大陆最早成立的MEMS 创业公司之一
公司成立于2007年，由著名商业风险投资
机构投资,注册资本金RMB3500万
目前的产品线−硅麦克风、硅压力传感、
加速度传感器、力传感器。涵盖了消费类
电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领
域
总部在苏州,设有上海、深圳、台北办事处
完整的产品开发和生产体系
苏州工业园区– 核心器件研发
苏州纳米城–工艺研发平台
半导体标准FAB– 产品加工平台
ISO9001 体系认证通过
重要澄清的重要概念：
Pressure: 严格意义上，叫做“压强”，而不是压力
Pressure
0 PSIA 14.7 PSIA 44.7 PSIA
-14.7 PSIG 0 PSI Gage 30 PSIG
Outer Space Sea Level Car Tire
(Perfect Vacuum) (one atmosphere)
还有其它单位：Pa / HPa / kPa / MPa / mmHg / 公斤
FTS 传感器–压阻原理的Pressure Sensor Chip
压力→压强→硅薄膜片形变→ 薄膜片之上的电阻的变化→ 电桥输出电压的变化
P = F/A
P2 = 0
FTS 产品的技术难点在哪里？
借用压力传感器的技术，但是必须是介质隔离型：
要求成本低 （困难）
要求尺寸小 （困难）
材料需要与人手指触压的使用方式兼容
内部的压力传感芯片的引线连接需要被保护
其它FTS 产品的技术方案对比
供应商 测力原理 技术路线 封装路线 优、缺点
1. 接触点面积可以很小，
小至2X2mm2
敏芯 压强测量，转化为力 MEMS压阻式压力芯片 柔性介质隔离 2. 完全批量化生产，成本
低
3. 线性度、温度特性好
美国TEKSCAN
1. 结构简单，不存在形变
“三明治”式结构，上下 结构，可靠性好；
压强测量，转化为力 压力敏感涂层(INK) 两块有机材料夹住中间的 2. 单价高（参考49美元一
压敏涂层 支）
美国INTERLINK
“三明治”式结构，上下 1. 重
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