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精密工作台光栅 定位 测量与 控制 系统设计 摘要 作为精密机械与精密仪器的关键技术之一的微位移技术，近年来随着微电子术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速地发展起来。而定位与测量技术的水平几乎左右着微位移技术的发展，因此直接影响到微电子技术等高精度工业的发展。 本次毕业设计提出精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计方案。设计了工作台的结构。以光栅莫尔条纹为基础，设计了工作台的光学系统，采用100线对/mm的光栅尺，即栅距为10um。对莫尔条纹的工作原理、光电转换技术和细分技术进行了分析。设计了相位跟踪细分法对莫尔条纹进行1000细分。利用8253计数器对脉冲进行计数，通过RS232接口实现通讯，并由PID控制器进行实时控制。 目前，精密定位测量技术已经相当成熟，但随着现代工业技术的发展，对精密定位测量的要求也会随之提高。为了满足更高的要求，精密定位测量技术不但要达到更高的分辨率，还要适应更复杂的工作环境。 关键词:微位移;定位;测量;光栅;细分 目录 摘要 Abstract 第1章绪论.11.1研究的背景与意义.11.2国内外发展现状.21.2.1精密工作台.…21.2.2测量方法.…31.2.3控制方法.61.2.4精密工作台光栅定位测量与控制系统.81.3毕业设计任务.10 第2章总体方案设计.…112.1方案比较.…112.1.1开环控制系统.112.1.2闭环控制系统.…