THQGS-型光栅传感器实验指导书(使用说明书).docVIP

目 录 前 言 1 THQGS?-1型 光栅传感器?实验箱实验?指导书 2 THQGS?-1型 光栅传感器?实验箱使用?说明书 12 前 言 光栅应用于?技术领域已?有一百多年?的历史。早期人们是?利用光栅的?衍射效应进?行光谱分析?和光波长的?测量，到了20世?纪50年代?人们才开始?利用光栅的?莫尔条纹现?象进行精密?测量，从而出现了?光栅传感器?。光栅传感器?具有许多优?点，如测量精度?高。在圆分度和?角位移测量?方面，一般认为光?栅传感器是?精度最高的?一种，可实现大量?程测量兼有?高分辨率；可实现动态?测量，易于实现测?量及数据处?理的自动化?；且具有较强?的抗干扰能?力等。因此近些年?来，光栅传感器?在精密测量?领域中的应?用得到了迅?速发展。 THQGS?-1型 光栅传感器?实验箱实验?指导书 光栅传感器?测量位移实?验 一、实验目的 了解光栅传?感器测量位?移的原理。 学习光栅传?感器测量位?移的方法。 加深对莫尔?条纹形成的?光学原理、位移放大作?用和误差平?均效应的理?解。 二、实验设备 THQGS?-1型光栅传?感器实验箱?。 三、实验原理 基本工作原?理 在玻璃尺、玻璃盘或金?属上类似于?刻线标尺或?度盘那样，进行长刻线?（一盘为10?～12mm）的密集刻划?，得到如图1?（a）或（b）所示的黑白?相同、间隔细小的?条纹，没有刻划的?白处透光，刻划的黑处?不透光，这种具有周?期性的刻线?分布的光学?元件称为光?栅。光栅上的刻?线称为栅线?，栅线的宽度?为a，缝隙宽度为?b，一般都取a?=b，而W=a+b，W称为光栅?的栅距（也称光栅常?数或光栅的?节距），它是光栅的?重要参数。 (a) (b) 图1 光栅栅线放?大图 光栅传感器?是由光源、透镜、主光栅、指示光栅和?光电元件构?成的，而光栅是光?栅传感器的?主要部件，如图2所示?。光栅传感器?的基本工作?原理是用光?栅的莫尔条?纹现象进行?测量的。取两块光栅?栅距相同的?光栅，其中光栅3?为主光栅、光栅4为指?示光栅，指示光栅比?主光栅要短?，这两者刻面?相对，中间留有很?小的间隙d?，便组成了光?栅副。将其置于由?光源1和透?镜2形成的?平行光束的?光路中，若两光栅栅?线之间有很?小的夹角θ?，则在近似垂?直于栅线方?向上就显现?出比栅线W?宽得多的明?暗相间的条?纹6，这种由光栅?重叠形成的?光学图案称?为莫尔条纹?，其信号光强?分布如图2?中曲线7所?示。中间为亮带?，上下为两条?暗带。当主光栅沿?垂直于栅线?的x方向每?移动过一个?栅距W时，莫尔条纹近?似沿栅线方?向移过一个?条纹间距。用光电元件?5接收莫尔?条纹信号，经电路处理?后计数器计?数可得主光?栅移动的距?离。 图2 光栅传感器?的构成原理?图 对于波长为?的光源来说?，要求光栅副?间的间距d?=/；光源一般采?用钨丝灯泡?；光电接收元?件一般采用?光电池和光?敏三极管。 光栅的种类? 光栅的种类?很多，若按工作原?理分，有物理光栅?和计量光栅?两种，前者用于光?谱仪器，作色散元件?，后者主要用?于精密测量?和精密机械?的自动控制?中。而计量光栅?按其用途可?分为长光栅?和圆光栅两?类。计量光栅的?分类如图3?所示。 图3 计量光栅的?分类 1）长光栅 长光栅主要?用于测量长?度或直线位?移，它的刻线相?互平行，条纹密度有?每毫米25?、50、100、250条等?。根据栅线形?式的不同长?光栅分为黑?白光栅和闪?耀光栅。黑白光栅是?指只对入射?光波的振幅?或光强进行?调制的光栅?，所以也称幅?值光栅或振?幅光栅。图4所示的?透射光栅就?是黑白光栅?的一种。闪耀光栅是?对入射光波?的相位进行?调制，也称相位光?栅。闪耀光栅的?线槽断面分?对称型和不?对称型两种?。 图4 黑白透射长?光栅 根据光线的?走向，长光栅又分?为透射光栅?和反射光栅?。透射光栅是?将栅线刻制?在透明的玻?璃上，反射光栅的?栅线则刻制?在具有强反?射能力的金?属（如不锈钢或?玻璃镀金属?膜）上。 2）圆光栅 圆光栅是把?细条纹刻在?玻璃圆盘上?，也称光栅盘?，主要用透射?的，主要用来测?量角度或角?位移。圆光栅的结?构如图5所?示。根据刻划的?方向，可分为两种?，一种是径向?光栅，其栅线的延?长线全部通?过光栅盘的?圆心。另一种是切?向光栅，其全部栅线?与一个和光?栅盘同心的?小圆相切，此小圆直径?很小，只有零点几?到几个毫米?，适用于精度?要求较高的?场合。径向光栅、切向光栅如?图6所示。 图5 圆光栅结构?图 （a）径向光栅 （b）切向光栅 图6 径向光栅、切向光栅 莫尔条纹 长光栅的横?向莫尔条纹?如图7所示?。相