真空系统，镀膜设备与表面分析.ppt

表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。 一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清洁”的表面，表面分析过程往往是在真空或超高真空中进行的。目前，人们所广泛使用的很多表面分析设备都具有真空系统。 薄膜制备设备往往涉及真空系统。 真空：低于一个大气压的气体状态。 1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验，获得真空。 自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇 宙空间。 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。 真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 真空单位 Atmospheres (atm): Scale relative to our atmospheric pressure as 1 atm Pascal (Pa): SI unit equal to N/m2 mBar: Equal to 1x10-8 Pa. Torr or mmHg: Most commonly used pressure unit, based on mercury vacuum gauges. 真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 真空的划分 真空技术的应用 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。 真空的意义 真空的意义 真空的获得 真空获得—真空泵 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。 真空泵的主要参数 抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为： 其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。 泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。 极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 几种常用真空泵的工作原理1. 旋片机械泵 工作过程是： 吸气—压缩—排气。 定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 主要参量是： 抽速和极限压强。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 真空技术原理 真空的获得 机械泵 2. 油扩散泵 是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 3.涡轮分子泵 工作过程是：高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。 真空技术原理 真空的获得 吸附泵 真空技术原理 真空的获得 扩散泵 真空技术原理 真空的获得 涡轮分子泵 真空的获得 涡轮分子泵 真空的获得 溅射离子泵 真空的获得 溅射离子泵 真空的获得 钛升华泵 真空的获得 真空中所适用的材料 真空的获得 Materials to be Av