08 压式传感器.ppt

* 其中λ为力电转换系数 Xi’an Jiaotong University 现代检测技术 压电式传感器 精勤求学 敦笃励志 果毅力行 忠恕任事 Xi’an Jiaotong University 压电式传感器是一种典型的有源传感器（发电型、自源型），既可以将机械能转变为电能，又能将电能转变成机械能。其工作原理是利用某些物质的压电效应。 压电常数d与材料和机械形变方向有关，q的极性与变形的形式有关。 压电式传感器 能够测量与力有关的物理量，如压力、加速度。 Xi’an Jiaotong University 某些材料（如石英）当沿着一定方向施加力变形，由于材料分子不具备中心对称性，其内部产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，重新恢复到不带电状态，此现象称为正压电效应。压电效应是可逆的。 逆压电效应是指当压电材料沿一定方向受到电场作用时，相应的在一定的晶轴方向将产生机械变形或机械应力，又称电致伸缩效应。当外加电场撤去后，晶体内部的应力或变形也随之消失。 压电效应 Xi’an Jiaotong University 纵轴 z-z称作光轴，通过六棱柱棱线而垂直于光轴的轴线x-x称作电轴，垂直于棱面的轴线 y-y称作机械轴。 每个晶体单元中，具有3个硅离子和6个氧离子，氧离子是成对的，构成六边的形状。在没有外力的作用时，电荷互相平衡，外部没有带电现象。 压电效应 Xi’an Jiaotong University 压电效应 右图：硅氧离子排列示意图 下图：石英晶体压电效应示意图 P1、P2、P3—— 偶极矩 压力 拉力 Xi’an Jiaotong University 纵向压电效应：沿电轴(x轴)施加作用力，电荷出现在与x轴相垂直的表面上。 横向压电效应：沿机械轴(y 轴)施加作用力，电荷仍出现在与x 轴相垂直的表面上，但极性相反。 横向效应（垂直极化） 纵向效应（平行极化） 石英晶体 压电效应 Xi’an Jiaotong University 压电效应 石英晶体切片 当受到沿X轴方向的应力FX时，产生的极化电荷为： 极间电容为： 极间电压为： 晶体在X方向产生电致伸缩，厚度变形为： Xi’an Jiaotong University 压电效应 几个结论 无论是正或逆压电效应，其作用力与电荷之间呈线性关系； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； 石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应的。 Xi’an Jiaotong University 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷极化处理前后电畴（chóu）变化示意图 Xi’an Jiaotong University 压电陶瓷的压电效应 极化 正压电效应 逆压电效应 Xi’an Jiaotong University 压电常数——表示产生电荷与作用力之间的关系； 弹性模量——表示压电元件的刚度，刚度越大，固有振动频率越高； 电阻率——电阻率越大，压电元件内阻越大，将减少电荷泄漏； 居里点——温度超过居里点时，压电材料的压电性能被破坏。居里点高，压电元件的工作温度范围大。 压电材料主要特征参数 Xi’an Jiaotong University 1. 压电晶体——性能优良，压电常数较小，常做标准高精度传感器。 石英（SiO2）——天然或人工合成。具有良好的机械强度和压电效应。压电系数较小，但压电系数的时间和温度稳定性好。在20~200℃内，温度每升高1℃，压电系数仅减小0.016%，升高到200℃ 时，仅减小 5% ，达到573℃ 时，失去压电特性，此温度称为石英的居里点。 压电系数：d11=2.31*10-12 C/N 相对介电常数：4.58 主要压电材料 Xi’an Jiaotong University 2. 压电陶瓷——由多种材料经烧结合成，制作方便，成本低。压电常数一般比石英高数百倍。现代压电元件大多采用压电陶瓷。缺点是机械强度和居里点较低，高温时容易老化，在一般工业广泛应用。 主要压电材料 材料 压电系数 （*10-12 C/N） 相对介电常数 居里温度（℃） 石英（SiO2） d11=2.31 4.58 573 钛酸钡（BaTiO3） d33=170 1700 ~120 锆钛酸铅 （PTZ） d33=71~590 d31=-100~-230 460~3500 180~350 Xi’an Jiaotong University 3. 高分子压电材料——高分子薄膜，如聚二氟乙烯（PVF2）、聚氯乙稀（PVC）等，易于大量生产、面积大、柔软不易破碎，可制成阵列器件，价格便宜。 用于微压和机器人触觉。