材料现代分析与测试第二章 子显微分析.docVIP

电子显微分析 一、教学目的 理解掌握电子光学基础、电子与固体物质的相互作用、衬度理论等电子显微分析的基本理论，掌握透射电镜分析、扫描电镜分析、电子探针分析的应用和特点，掌握用各种衬度理论解释电子显微像，掌握电子显微分析样品的制备方法，了解透射电镜、扫描电镜、电子探针的结构。 二、重点、难点 重点：电子与物质的相互作用、衬度理论、电子探针X射线显微分析。 难点：电子与物质的相互作用、衬度理论。 概述： 一、光学显微镜的局限性： 1.分辨能力（分辨率）： 分辨能力（分辨率、分辨本领）： 一个光学系统能分开两个物点的能力，数值上是刚能清楚地分开两个物点间的最小距离。 =(nm) r —分辨率（r小，分辨能力越高） λ—照明光的波长 n—透镜所处环境介质的折射率 а—透镜孔径半角（°） nsina—数值孔径 用N.A表示 电子在电、磁场中易改变运动方向，且电子波的波长比可见光短得多，所以电子显微镜在高放大倍数时所能达到的分辨率比光学显微镜高得多。 二、电子显微分析： 是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号、分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 透射电子显微镜（TEM） 扫描电子显微镜（SEM） 电子探针（EPMA） 特点： 1.分辨率高：0.2~0.3nm 2.放大倍数高：20~30万倍 3.是一种微区分析方法：能进行nm尺度的晶体结构、化学组成分析 4.