第二章 电式传感器.pptVIP

传感器与检测技术 董春利 主编 潘洪坤 执笔 大连职业技术学院电气电子工程系 2008年3月 第二章 电阻式传感器 2.1电阻应变式传感器 2.2固态压阻式传感器 2.3热电阻式传感器 2.4热敏电阻传感器 第一节 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器 利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成 当被测物理量作用在弹性元件上时，弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化，通过转换电路将其转变成电量输出，电量变化的大小反映了被测物理量的大小。 应变式电阻传感器是目前测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数应用广泛的传感器。 一、电阻应变效应 电阻应变片的工作原理是基于应变效应，即在导体产生 机械变形时，它的电阻值相应发生变化。 1．应变效应的理论 一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为： 把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。 其物理意义：单位应变所引起的电阻相对变化的量 2．应变效应的结论 （1）灵敏度系数 ①对金属材料电阻丝来说，灵敏度系数表达式中（1+2μ）的值要比（Δρ/ρ）/ε大得多，而半导体材料的（Δρ/ρ）/ε项的值比（1+2μ）大得多。 ②大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与 应变成正比，即K为常数 （2）应变测量 应变片测量应变的基本原理 ——应力σ正比于电阻值的变化 二、电阻应变片的结构与特性 敏感栅是应变片的核心部分，它粘贴在绝缘的基片上，其上再粘贴起保护作用的覆盖层，两端焊接引出导线。 金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。 将直的电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，应变状态相同，但由于应变片敏感栅的电阻变化较小，因而其灵敏系数K较电阻丝的灵敏系数K0小，这种现象称为应变片的横向效应。 3．应变片的温度误差 由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差，称为应变片的温度误差，主要因素: 当试件和电阻丝线膨胀系数不同时，由于环境温度的变化，电阻丝会产生附加变形，从而产生附加电阻。 三、电阻应变片的测量电路 通常采用直流电桥 和交流电桥测量电路测量应变变化而引起电阻变化。 1．直流电桥 （1）直流电桥平衡条件 条件： （2）电压灵敏度 电桥电压灵敏度是单位应变片电阻阻值相对变化引起的输出电桥电压的变化。 对电压灵敏度进行分析 ①电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压，供电电压越高，电桥电压灵敏度越高，但供电电压的提高受到应变片允许功耗的限制，所以要作适当选择； ②电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值n的函数，恰当地选择桥臂比n的值，保证电桥具有较高的电压灵敏度。在电桥电压确定后，当R1=R2=R3=R4时，电桥电压灵敏度最高。 ③当电源电压E和电阻相对变化量ΔR1/R1一定时，电桥的输出电压及其灵敏度也是定值，且与各桥臂电阻阻值大小无关。 （3）电阻应变片的温度补偿方法 温度补偿方法通常有线路补偿法和应变片自补偿两大类 。 电桥补偿原理： 一般按R1=R2=R3=R4选取桥臂电阻。当温度升高或降低Δt=t-t0时，两个应变片的因温度而引起的电阻变化量相等，电桥仍处于平衡状态 （4）电阻应变片的非线性补偿方法 1）半桥差动电路 特点：差动电桥无非线性 误差, 而且电桥电压灵敏度KU=E/2,比单臂工作时提高一倍, 同时还具有温度补偿作用。 2）全桥差动电路 特点：全桥差动电路不仅没有非线性误差, 而且电压灵敏度是单片的4倍, 同时仍具有温度补偿作用。 2．交流电桥 必要性：由于应变电桥输出电压很小，一般都要加放大器，而直流放大器易于产生零漂，因此应变电桥多采用交流电桥。 电路： 调节电路： 四、应变式传感器应用 2．应变式压力传感器 应变式压力传感器主要用来测量流动介质的动态或静态压力。如动力管道设备的进出口气体或液体的压力、发动机内部的压力变化，枪管及炮管内部的压力、内燃机管道压力等。 应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式弹性元件。 第二节 固态压阻式传感器 一、半导体的压阻效应 压阻效应 ： 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化 半导体材料的压阻效应特别强，即在半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率ρ发生的变化较大。 1．半导体压阻效应原理 对半导体材料 ： 二、固态压阻式传感器的结构 按照结构划分，压阻式传感器主要有三种不同类型。 体型半导体、薄膜型半导体、扩散型半导体。 1．体型半导体