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金属制程和材料
* * 金屬製程和材料 圖7.1 矽MOS閘極電極用金屬材料的組合 圖7.2 (a)單晶，(b)多晶，(c)非晶的比較示意圖 圖7.3 一個MOSFET中的多晶矽閘 圖7.4 耐火金屬矽化物的製作，(a)長側牆氧化物，(b)鍍鈦， (c)長出矽化鈦，去除多餘的矽化物 圖7.5 多晶矽矽化物(polycide)的成長過程 圖7.6 磁電濺鍍(magnetron)設備的概略圖 圖7.7 蒸鍍用的(a)鎢絲加熱器，(b)坩堝外繞加熱器 圖7.8 蒸鍍機的概略圖 圖7.9 電子束蒸鍍的示意圖 圖7.10 電子束槍和源材料系統 圖7.11 接面尖峰 圖7.12 鋁線因電致遷移而產生的斷路情形
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