超声表面波lsaws法表征lowk薄膜杨氏模量的快速实现-rapid realization of characterization of youngs modulus of lowk thin films by surface acoustic wave lsaws method.docxVIP

摘要在过去的几十年间，集成电路的集成度依循摩尔定律呈指数规律升高，特征摘要在过去的几十年间，集成电路的集成度依循摩尔定律呈指数规律升高，特征 尺寸不断减小。现阶段，互连线的RC延迟已经远超过门延迟，成为影响电路性 能和速度的关键。为降低RC延迟，低介电常数(10w．七)介质的研究已成为微电 子领域的重要课题，而低介电常数往往伴随着较低的机械强度，极大影响了low-k 材料作为互连线间介质的应用。本课题采用激光激发表面波(Laser．generated Surface Acoustic Waves， LSAWs)方法检测low．k材料的杨氏模量值，与传统的纳米压痕法相比较，这一 检测技术具有准确、快速、无损伤等优点，适合于对超薄、低硬度、非致密薄膜 材料进行在线检测。LSAWs方法检测杨氏模量时，采用激光照射low．k薄膜．衬底结构样片激发 表面波信号并对其进行检测和采集，依据表面波在分层介质上传播时发生频散的 特性，计算出它的频散特性曲线。同时根据已建立的薄膜．衬底理论模型，计算 对应不同杨氏模量值时的理论频散曲线，并通过匹配得到理论计算与实验频散曲 线最为接近时对应的杨氏模量值，从而获得薄膜的实际参数。本课题组通过对实验系统的优化，能够获得信噪比超过10：l的表面波信号， 对表面波信号进行滤波处理后，可以计算得到平滑、变化趋势正确的实验频散曲 线，在多次实验中取得很好的重复性。