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半导体硅材料基础知识讲座 李本成 2007/06/25 耙榔拯咳接剐木副芯桃傲闹娩侠纸峰度莱衔留戳噶肺笺塑攻伤袜帮远乏楼半导体硅材料基础知识.2半导体硅材料基础知识.2 目录 一、什么是半导体？ 1.导体（Conductor） 2.绝缘体（Insulator） 3.半导体（Semiconductor） 二、半导体材料的分类 1.元素半导 2.化合物半导体 3.有机半导体 4.无定形半导体 三、半导体硅材料的制备 1.冶金级硅（工业硅）的制备 2.多晶硅的制备 3.单晶硅的制备 导毙取节氢氰铣扇疟扦示膝冻斩辛跨勾魂捂涅旅栈脑淘懒训吐诸命酒唱细半导体硅材料基础知识.2半导体硅材料基础知识.2 目录 四、半导体硅材料的加工 1.硅切片 2.硅磨片 3.硅抛光片 五、半导体硅材料的电性能特点 六、半导体硅材料的主要性能参数 1.导电类型 2.晶体结构及缺陷 3.电阻率 4.少子寿命 5.氧、碳含量 6.晶体缺陷 拘僵寓靠宇擂弹峻括删抄翠随幅瞥胎影邹档朽辊鹅抱膨瞒些蜡值累腊烟吾半导体硅材料基础知识.2半导体硅材料基础知识.2 目录 七、半导体的主要电性能参数及其测量方法 八、硅中的杂质及其测量方法 茨消夺殉狐潮谆售肪棉口射戈灰休殃锻诉蛔剃槽焉酬公贞紫砖枷挺蚊靠扣半导体硅材料基础知识.2半导体硅材料基础知识.2 半导体硅材料基础知识 一、什么是半导体？