光泵浦半导体激光器的发展及应用.docVIP

光泵浦半导体激光器的发展及应用摘 要 ： 光泵浦半导体激光器 （OPS光泵浦半导体激光器的发展及应用摘 要 ： 光泵浦半导体激光器 （OPSLs） 于2001年 被 提 出 ， 其在 光功率扩展性和稳定性 、 波 长 可 选 性 、可靠性以及光束质量等方面具有独特优势 ， 并迅速在流式细胞术 、 共 聚 焦 显 微 镜 、 测 序 分 析 、 医 学 诊断和治疗 、 半导体检测 、 图形艺术 、 法医学 、 计 量学等领域得到了广泛应用 。本文将介绍OPSL的基本原理 ， 并与离 子 激 光 器 、 二 极管激光器和标准的固体激光器对比 。 还 将回顾这一新兴技术的过去10年 、现 状 和 发 展 趋 势 ， 尤 其 是 波 长 、 光 功 率 、 倍 频 、 超窄线宽技术 等 方面。 此外， 还将给出对OPSL主要应用领域的研究 结果 。效 率 低 、 能 耗 高 ， 以及与此相关的高散热 、 背 景 光放电、 寿命有限和高成本等缺点 。固 体 激 光器可作为离子激光器的替代品 。 基 于 晶体工作的固体激光 器具有光束质量好 、 光 功 率 稳 定和噪声低等优点 。 但是，早期灯泵浦 （倍频）Nd∶YAG和 Nd∶YVO4 激光器虽然波长包括 1 064 nm，561 nm，532 nm 和 473 nm， 但在体积 、 功耗和成 本上 ， 并不1激光器种类过 去 的 40 年 ， 激 光 器 已 成 为 材 料 加 工 、 计 量 、检 验 、 生 物 仪 器 、 医 疗等领域的一种重要工具 。 它 们实现了从笨重 、 高 功 耗 、 复 杂 、 敏感和昂贵到产 业化、 强劲、 免维护时长超数千小时的飞跃 。激 光 器 的 波 长覆盖红外和紫外波段 ， 光 功 率 从 毫 瓦 到 千 瓦 。 它们既可连续工作 （CW）， 又 可 以 皮 秒 （ps） 甚至飞秒 （fs） 的脉冲方式工作 。多年来 ， 除倍频 Nd∶YAG 和 Nd∶YVO4 激 光 器 外 ，空气制冷离子激光器 （ 氦 氖 ， Ar 离 子 ， Kr 离 子 ，比离子激光器更具吸引力 。直 到 上 世 纪 90 年 代 初期 ， 二极管激光器和二极管泵浦固态 （DPSS） 激 光器的出现才开启了一个新纪元 。 尽 管 在 引 入 初 期 ， DPSS 激 光器对于大多数应用来说还比较昂贵 ， 不 过 ， 随着包括二极管 泵浦源在内的激光 器 器件的发 展 ， 固体激光器迅 速成为一种经 济 的激光光源 。 在 许多绿光激光光源应用领域 ， 532 nm 的 Nd∶YAG 和Nd∶YVO4 激光器已经取代了 514 nm 的 Ar 离 子 激 光器 和 543 nm 的 氦 氖 激 光 器 。 457 nm 和 473 nm 的DPSS 激 光 器 也 分 别 取 代 了 458 nm 和476 nm 的 氩 离Ar-Kr 混合）是唯 一经济的可见激光光源 。 然而， 氦氖激光器的应用受到较大的功率限制 （在 543 nm 和633 nm 波 长 下 仅 数 mW）。 Ar 离子激光器的某些激 射 波 长 ， 如 458 nm、 488 nm 和 514 nm 在 中 等 功 率 范 围 内 也 成 为 波 长 标 准 。 虽 然 Ar 离 子 和 Kr 离 子 激 光器具有多波长工作 的优势 ， 但它们存在体积庞大 、小尺寸 、 高光束质量 、 稳定的功率和低噪声 。 然 而，由于工作介质物理性质的限制 ， 其 波 长 只 有 有小尺寸 、 高光束质量 、 稳定的功率和低噪声 。 然 而，由于工作介质物理性质的限制 ， 其 波 长 只 有 有 限 的 几种选择 。二极管激光器是 目前最常见的激光器 ， 在 诸 如 CD/DVD 播放机和激光打 印机等日用产品中都 能 发 现 它 们 的 身 影 。 它 们 在 体 积 、 电 光 效 率 、 寿 命 、 成 本 （不 总 是 ） 方 面 ， 与 其 他类型激光器相比 具 有独 角大且通常需要光束整形 ； 激 射 波 长 、 光 波 模 式 和光 功 率都随驱动电流变化 ， 波 长 一 致 性 也 并 不 好 。 因 此 ， 与离子激光器和 DPSS 激 光 器 相 比 ， 二 极 管 激光器在光束质量 、 模 式 特 性 、 波 长 稳 定 性 以 及 精 度方面并不具优势 。