《传感器与检测技术(第版)》胡向东 第9章.ppt

光栅莫尔条纹的形式 2. 光栅测量原理 两块具有相同栅距的长光栅叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角 ，则在大致垂直于栅线的方向上出现明暗相间的条纹，称为莫尔条纹。 在两块光栅栅线重合的地方，透光面积最大，出现亮带（图中的 d-d）；有的地方两块光栅的栅线错开，形成了不透光的暗带（图中的 f-f）。 　　当夹角 减小时，条纹间距BH增大，适当调整夹角可获得所需的条纹间距。 (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个光栅栅距W时， 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度BH。莫尔条纹的间距BH与两光栅线纹夹角θ之间的关系为 θ越小，BH越大，这相当于把栅距W放大大了1/θ倍。例如θ=0.1°，则1/θ≈573，即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍， 这相当于把栅距放大了573倍，说明光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 莫尔条纹测位移的三个特点 （2） 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。  (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消