场发射扫描电子显微镜大型仪器设备购置论证报告-浙江师范大学.DOC

PAGE PAGE 9大型仪器设备购置论证报告仪器设备名称场发射扫描电子显微镜项目名称先进催化材料实验室建设项目负责人朱钢国填表日期2018.01.12实验室管理处制填表说明1．单价10万元及以上仪器设备的申购均需填写此表，并与申购计划一起上报有关部门。2．所在学院（部门）组织3—7人单数技术专家进行论证，并通知项目经费管理、设备管理等部门参加论证。申请单一来源采购的需3人以上单数非本校专家参加论证；未列入全省统一论证进口产品范围的进口产品需5人以上单数非本校专家参加论证。3．论证会由专家组组长主持，主要程序为：申购人报告、现场考察、专家质询与讨论、专家组形成论证意见并签名。4．专家论证同意，经学院（部门）、项目经费管理部门签字并盖章后，报本科教学部（实验室管理处）网上公示一周无异议后实施。5．此表一式1份（如设备为进口设备，请提交2份）。设备名称中文场发射扫描电子显微镜英文Field Emission Scanning Electron Microscope规格型号德国蔡司Sigma 500或日本日立SU8100或美国赛默飞（FEI）Apreo申购数量1现行单价人民币290万美元44.4万购置经费来源先进催化材料实验室建设经费运行经费来源浙江省化学一流学科主要技术指标与功能仪器总体要求包括电子光学系统、样品室及样品台、探测器、真空系统、能谱仪、计算机数字图像记录系统、控制和数据处理系统等基本配置。仪器供应商在中国必须有多年的场发射扫描电子显微镜生产销售经验，确保仪器稳定，售后服务良好，口碑好。具体技术参数及指标如下：1. 电子光学系统1）二次电子分辨率：≤ 1.0 nm@15 KV，≤ 1.4 nm@1 KV（非样品台减速模式下)。2）放大倍率：10-1,000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。3）加速电压：0.02 KV～30.0 KV，步进100V，连续可调。4）电子枪：场发射电子枪。5）电子束流：最大束流不小于20 nA6）束流稳定性：优于0.5 %/h，抗噪声性能：优于1.0 %/h7）镜筒内具有静电透镜，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像。8）35o最佳出射角时，能谱仪分析工作距离可达到9 mm以下。2. 样品室及样品台1） 样品室：抽屉式拉门，宽度或者内部直径不小于350 mm，可容纳最大样品尺寸不小于200 mm；2）样品台：五轴优中心马达驱动，移动最大范围指标：X ≥120 mm，Y ≥120 mm，Z ≥50 mm，双向倾斜，-3°～70°（倾斜），360°（旋转）；3）马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板，多功能键盘；4）样品座：一个单样品座，一个九孔样品座，一个多目样品座；5）最大可载样品重量不小于500g；6）样品台具有触碰极靴告警自停功能；7）接口可连接能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口。3. 探测器1）样品室二次电子探测器。2）安装在物镜上方正光轴上的镜筒内二次电子探测器。3）样品室内独立5象限背散射电子探测器。4）原厂进口样品室IR-CCD相机，与主机同一品牌。5）样品电流监测器。4. 真空系统 1）无油磁悬浮涡轮分子泵，离子泵。2）样品室真空度：高真空模式优于10-4 Pa3）抽真空时间：5分钟之内可至工作状态。5. 数字图像记录系统1）图像储存最大像素不低于32k×24k 2）图像显示分辨率不低于1240×768像素。3）图像储存格式包括TIFF，BMP，JPEG等各种格式。6. 控制和数据处理系统1）工作站：配置不低于i7 CPU，16G内存，1T固态硬盘，DVDRW，2G独显，24寸液晶屏，预装Windows系统；2）多种自动控制功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理，样品图像导航功能。7. 能谱仪1套1）建议品牌：牛津、布鲁克、EDAX； 2）探测器：硅漂移SDD电子制冷探头，独立封装FET场效应管，圆型硅漂移晶体，超薄窗设计；独立真空，仅消耗电能，无需循环水及其他真空泵或风扇制冷，没有震动；3）能谱仪探测器：测量有效面积 ≥30mm2；4）能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV，峰背比20,000:1；5）元素分析范围：Be4～Pu94；6）无漏磁电子陷阱设计，对扫描电镜无任何影响。8. 6KVA UPS稳压电源，1套，可持续供电15分钟以上。9. 配件要求：备用场发射灯丝光阑不少于 1套，导电胶不少于2卷，样品托不少于50个，镊子不少于2把。10. STEM探头配备STEM探头，具有BF像、DF像.11. 离子溅射仪1）提供离子溅射仪一台，包括主机和真空系统等的