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第7章 透射电子显微分析 第一节 电子光学基础 眼晴的局限性 准确性、灵敏性、适应性和精密的分辨能力。 人眼观察物体的粒度极限为0.1mm 光学显微镜 可以看到像：细菌、细胞那样小的物体。但光学显微镜超过一定放大率以后就失去了作用，最好的光学显微镜的放大极限是：2000倍 电子光学的发展 ?1924年，De Broglie证明了快速粒子的辐射，并发现了一种高速运动的电子波，其波长为0.005nm，比可见光绿光波长短10万倍，由衍射效应确定的分辨率应为0.0025nm，但实际上为0.18nm。 ?1926年，Busch提出了用轴对称的电场和磁场对电子束进行聚集，发展成电磁透镜。 电子光学的发展 ?1931-1933年，Ruska 等设计并制造了第一台电子显微镜。 我国1959年开始制造电镜。 经过50-60年的发展，现代透射电镜的放大倍数可以达到数百万倍以上，其分辨本领已经达到原子大小的水平。 阿贝(Abbe E.K.)定律 阿贝定律的意义 由阿贝定律知： 减小r值的途径有： (1)↑(物镜的数值孔径)N.A，即↑n和α (2)↓λ 当用可见光作光源，采用组合透镜、大的孔径角(即用高倍数物镜)以及高折射率介质浸没物镜时，数值孔径N.A可提高到1.5～1.6，上式可简化为： r≌λ/2 阿贝定律的意义 光学显微镜的极限分辨本领大约是所使用的照明光线波长的一半。可见，半波长是光学玻璃透镜可分辨本领的理论极限。可见光的波长在390-760nm，其极限分辨率为200nm。 ??? 于是，人们用很长时间寻找波长短，又能聚焦成像的光波。 德布洛依电子波概念 X射线的波长很短，在0.05～10nm范围，但是至今还不知道有什么物质能使X射线有效地改变方向、折射和聚焦成像，即X射线很难操纵。 任何运动的微观粒子伴随着一个波。他预言，这种伴随着粒子的波，其波长与粒子的质量和速度的乘积与反比，即：由于电子在电场或磁场中易于改变运动的方向。且电子波的波长比可见光波短得多，所以电子显微镜在高放大倍数时所能达到的分辨率比光学显微镜高得多。 电子波的波长特性 电子显微镜的照明光源是电子射线。与可见光相似，运动的电子也兼有波动性和微粒性，即所谓波、粒二象性。根据De Broglie的观点，匀速直线运动着的电子必定和一个波动相对应，其波长取决于电子运动的速度和质量： 电子波的波长特性 一般，电镜的光源是一个能发射电子，并使其加速的静电装置称为电子枪。加速电场的极间电压称为加速电压，是电镜的一个重要性能指标。初速度的电子，受到电位差为V的电场加速获得能量，根据能量守恒原理，假设V不太高，电子获得的动能为： 有 由 电子的波长为： 式中 e=1.6×10-19C为电子电荷； m=为电子质量；V=为加速电压。 电子波的波长特性 ①?若电子速度较低，则其质量和静止质量相近，即m≈m0，则 电子波的波长特性 另外，在电位差为V的电场作用下，一个静止电子所获得的动能等于电子的总能量mc2与静止能量m0c2之差，即： ev = mc2－m0c2?????????????????????????????????? ? 电子波的波长特性 常用加速电压与电子波的波长： 透射电镜的加速电压一般在50～100kV，电子的波长在0.00536～0.00370nm比可见光的波长小几十万倍。比结构分析中常用的X射线的波长也小1～2个数量级。 电子波的波长特性 综上所述： 提高加速电压，缩短电子波长，提高电镜分辨率； 加速电压越高，对试样的穿透能力越大，可放宽对样品的减薄要求。 如用更厚样品，更接近样品实际情况。 电子波长与可见光相比，相差105量级。 电磁透镜 电子透镜的分辨率 但实际电镜的分辨率远远达不到上述指标，为什么呢？ 这是因为电磁透镜存在着像差： 已知光学衍射确定的分辩率为 ? (n=1.5, α=70-75°) 电子透镜的主要象差 ---球面象差 球面象差 物点P，旁轴电子形成的高斯象是P点,通过高斯象点垂直于光轴的平面称高斯平面。由于透镜