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- 2018-07-24 发布于江苏
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设备一多功能扫描探针显微镜数量一台3
设备一:多功能扫描探针显微镜 数量:一台
1、主要技术指标要求
1.1* 分辨率:
扫描器分辨率:XY:0.nm,Z0.1 ?;
对云母样品进行5-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻云母原子的间距值,以此间距值来表征仪器的XY方向分辨率:0.50-0.55nm;
对石墨样品进行3-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻石墨原子的间距值,以此值来表征仪器的XY方向分辨率:0.25-0.30nm;
1.2 *整机噪音:≤ 0.2?.3 *必须为探针扫描成像设计;
1.4 测量模式:
成像模式:接触模式轻敲模式定量相位成像模式横向力显微镜
静电力显微镜
调频表面电势测量模式
调幅表面电势测量模式
磁力显微镜
液体环境工作模式
液体环境
Q-Control控制技术
高次谐波成像模式
纳米刻蚀及纳米操纵
表面杨氏模式成像模式
(2)非成像模式:、力谱线自定义测量、
(3)其他:环境控制成像、溶液成像
多用途扫描器:()低干涉小范围扫描器:噪声水平: XY1? RMS,Z向1? RMS
成像范围:XY向9um*9um,Z 向2um;
(3)悬臂噪音水平: 0.2 ? RMS
(4)扫描器精度: ± 0.5%
(5)扫描控制:XY方向:24位控制, Z方向:24位控制
环境控制系统:
上部扫描成像(Top-down Scan)且用密封条将扫描硬件部分与成像环境隔开;
气氛控制:可
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