设备配置及技术规格要求3.docVIP

设备配置及技术规格要求 包A: 场发射扫描电子显微镜 1套 1. 工作条件 1.1 环境温度 20±5℃ 1.2 相对湿度 65% 1.3 电源 220V(±10%), 50Hz 1.4 连续工作时间 连续操作 2. 技术说明 2.1 该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器(r-filter)、电子束减速装置(GB)、X射线能谱等、附件和零部件组成。 2.2 技术参数 *2.2.1 分辨率 1.0nm (at 15 kV) 1.4 nm (at 1 kV) 2.2.2 加速电压 ：0.1kv ~ 30 kV SEM模式：0.5kv ~ 30kv GB减速模式：0.1kv~3.5kv *2.2.3 电子束流 最小束流≤1pA；最大束流≥1.7nA *2.2.4 放大倍数 x25 ~ x1,000,000 低放大模式：x25 ~ x19,000 普通放大模式：x100 ~ x1,000,000 2.3 电子光学系统 2.3.1 电子枪 场发射 2.3.2 对中 自动 *2.3.3 光栏孔径角最优控制镜 标配 2.3.4 物镜 强励磁圆锥形物镜 2.3.5 像散器