3-第三讲--薄膜材料物--第二章薄膜的力学性质.ppt

第三讲 第二章 薄膜的力学性质 第二章 薄膜的力学性质 第三讲 薄膜的主要力学性能： 附着性质—由薄膜成长的初始阶段 内应力 机械性能 §1.2 薄膜的附着性质（重要） 理论上—需对结合界的了解。 使用上—决定了薄膜元器件的稳定性和可靠性。 现无统一的测量薄膜附着性能的准确测量技术. 薄膜的附着性能直接与附着的类型、附着力的性质、工艺、测量方法有关。 2.1.1 薄膜的附着类型 ①简单附着—分明的分界面 ②扩散附着 ③通过中间层附着 ④通过宏观效应附着 ①简单附着：薄膜和基片间形成一个很清楚的分界面， 其附着能 Wfs=Ef+Es-Efs Ef—薄膜的表面能 Es—基片的表面能 Efs—薄膜与基片之间的界面能 两个相似或相容的表面接触 Efs↓ Wfs↑ 两个完全不相似或不相容的表面接触 Efs↑ Wfs↓ 表面污染： 1.333×