GB/T 36066-2018洁净室及相关受控环境　检测技术分析与应用.pdf

ICS13.040.35 C70 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT36066 2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 — Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Analsisanda licationoftesttechnolo y pp gy 2018-03-15发布 2018-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT36066 2018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 检测项目与相关应用领域 ……………………………………………………………………………… 2 5 检测技术要求 …………………………………………………………………………………………… 3 6 检测仪器配置 …………………………………………………………………………………………… 4 7 检测工况分析 …………………………………………………………………………………………… 7 ( ) ……………………………………………………………… 附录 资料性附录 压差的调试和测试 A 9 ( ) ………………………………………………………………………… 附录 资料性附录 自净检测 B 10 ( ) ……………………………………………………………… 附录 资料性附录 已装过滤系统检漏 C 11 参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 15 / — GBT36066 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 20