硬质膜课件.pptVIP

硬质膜;HSS 1000 -;不同类型硬质镀层材料比较;;;;;Balzers 1980;早期发展中，TiN以其色泽和综合性能获得用户认可。综合性能在摩擦学中以下述为主：硬度摩擦系数抗氧化性;TiN 镀层钻头;铝硅合金软基体硬质点 TiCN比TiN效果好，钻孔数可提高至3倍。;TiN和TiCN镀层的比较;TiAlN已成为主要镀层;TiAlN硬度随Ti和Al相对量变化加Al后， TiN由25GPa增至TiAlN 40GPa;不同方法获得TiAlN硬度值不同，此处 Al加入后，由TiN的HV2000增至3000。;Ti-Si-N 镀层硬度与Si含量的关系;TiN Ti-Si-N (12%);;Optimized at a level of grain size;TiAlSiN optimized at Ti 50%, Si 6%;溅射TiB2靶沉积TiBN膜;元素含量对TiAlBN薄膜性能的影响;TiN、TiC 加入B 形成多元膜 TiBN、 TiBC;TiN中加Cr可稳定提高硬度;CrN镀层;Surface and Coatings Technology 86687 (1996) 184-191 Development of chromium nitride coatings substituting titanium nitride Giinter Berg *,;N含量