光栅的电子细分原理及方法.docVIP

§ 7-3 光栅的电子细分 细分的原理和方法 1、原理：在忽略高次谐波的情况下，光电元件输出的电压U和光栅位移x之间的关系为 其中为光栅移动速度，d为栅距，U为电压幅值。 可见：，。 对位相进行n细分，实质上是对测量值x进行n细分。 （特别是，时，即对一个莫尔条纹n细分） 2、细分原理分类：（P89表7-3） 从波形分析方法入手，分为五类：幅值分割、周期测量、角频率倍增（倍频）、移项、函数变换。 （1）幅值分割法，就是对进行非线性分割，得。 （2）周期测量法，就是测时间的t，，测t得，得x。 （3）倍频法，就是增加角频率，用新的周期来反映x。 （4）移项法，得一系列相位差的正弦信号，编码，得n倍频。 （5）函数法，是变成别的函数n细分。 3、方法分类P90表7-4（9种） 二、直接的细分法（四倍频法） （一）四相信号的获得。 目的：为了消除莫尔条纹信号的直流分量和判向，需要四个相位差的谐波信号：； ； ；。 θ123 θ 1 2 3 4 θ θ θ 3600 -sinθ cosθ sinθ -cosθ 图7-3-1 1） 阵列光电元件法： 在一个莫尔条纹内均匀放置4个光电探测器，使它们各占条纹宽度的。 图7-3-2 四分透镜读数头1．聚光镜 2.指示光栅 3.四分透镜 4.狭缝 5.光电二极管 图7-3-2 四分透镜读数头 1．聚光镜 2.指示光栅 3.四分透镜 4.狭缝 5.光电二极管 图7-3-3 四极硅光电池 图7-3-3 四极硅光电池 缺点：每个信号的光强都只有一个条纹光强的。 2）裂相指示光栅法 n个光电元件，获得n相光电信号 n，k是整数。 裂相指示光栅 主光栅 裂相指示光栅 主光栅 光电探测器 相对静止 X 1 2 3 4 图7-3-4 裂相指示光栅的布置 （二）四倍频法 1、原理框图： 数显输出正 反向计 数编 数显输出 正 反 向 计 数 编 码 计 数 脉 冲 形 成 四 相 取 样 光电信号 2、计数电路工作过程 运算运算运算 运算 运算 运算 运算 + - + - - + + - DG1 DG3 DG2 DG4 Sinθ -Sinθ Cosθ -Cosθ 鉴零器 微分 t1 p1 2Sinθ 鉴零器 微分 t3 p3 -2Sinθ 鉴零器 微分 t2 p2 2Cosθ 鉴零器 微分 t4 p4 -2Cosθ 方波 尖脉冲 图7-3-5 工作过程： = 1 \* GB3 ① 4个相位差，含直流成份的光电信号，，，经4个运放差分放大，消去直流。 = 2 \* GB3 ② ，，，经鉴零器整形成方波，为编码提供判向信号，，，（即）。 = 3 \* GB3 ③ 经过微分电路输出尖脉冲，作为编码电路计数信号。 3、编码电路工作过程（目的：判向、计数） = 1 \* GB3 ① 逻辑图： ＋＋触 ＋ ＋ 触 发 器 ＋ p1 t1 p4 t2 t3 p2 t4 p3 t1 p2 t2 p3 t3 p4 t4 p1 Q— 减法脉冲 Q+ 加法脉冲 Q主脉冲 （送可逆计数器） 可逆计数器加减法控制线上控制电位 7453、7454（14脚） 图7-3-6 = 2 \* GB3 ② 编码逻辑表达式： ， 。 = 3 \* GB3 ③ 波形图： 图7-3-7 图7-3-7 三、移相电阻链法（移相原理） 计数电路移相电路 = 1 \* GB3 计 数 电 路 移 相 电 路 编码电路四sinθ 编 码 电 路 四sinθ 计数脉冲 路cosθ 计数脉冲 …… 信-sinθ …… 号-cosθ = 2 \* GB3 ② 移相原理：（串联电路、并联电路两种） 以串联为例： EBAR1 R2 R3 R4 R5 R6 R7 R8uk E B A R1