采购货物一览表[012].docVIP

采购货物一览表 第1包 ：多功能真空实验仪等 序号 设备名称 技术指标 单位 数量 1 多功能真空实验仪 Ф230×255mm玻璃真空室；机械泵和四级玻璃质油扩散泵；开机40分钟后可达5×10-3Pa，极限真空度：9.6×10-4Pa；恢复真空时间≤40分钟；无氧铜电极蒸发电极，间距70mm，蒸发电流调节范围： 0～150A；衬底加热：室温～200℃；工作电压：整机功率：3kW（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 2 2 等离子体诊断实验仪 直流功率电源：0～900W连续可调，最大输出0.6A；放电管内径φ25mm，长300mm；本底真空：≤10Pa；极限真空：6×10-1Pa；旋片真空泵；工作压强：10Pa～200Pa；工作电压：0V～1500V；放电电流：0～0.3A；探针电压：0～±100V；探针电流：0～20mA；整机功率1.5KW（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 1 3 多功能微波等离子体装置 微波功率：0～800W连续可调；频率：2.45 GHz；传输模式：波导沿TE10；本底真空：≤30Pa；极限真空：6×10-1Pa；工作压强：100Pa～8kPa；反应室石英管腔体尺寸：Φ50×190mm3；基片温度范围：200～1000℃；旋片真空泵；两路独立转子流量计供气；自带循环冷却水装置，水温控制范围10～30℃；水箱容量：30L；整机功率2KW（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 1 4 电感耦合射频等离子体镀膜装置 沉积室：由不锈钢底与玻璃钟罩组成；有效尺寸：Φ220×H230mm3；电感线圈：内径Φ50mm 外径Φ66mm；射频源： 500W 13.56MHz；衬底加热温度：室温至300℃可控；工作反应气体：微孔均匀导入；气路系统：由三路浮子流量计控制；反应气体工作压强：几Pa至几千Pa可调；本底真空：≤1Pa；旋片真空泵。（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 1 5 电容耦合射频等离子体镀膜装置 沉积室：由不锈钢底与玻璃钟罩组成；有效尺寸：Φ220×H230mm；平行板电极：Φ70mm；射频源：500W，13.56MHz；衬底加热温度：室温至300℃可控；工作反应气体：由电极板上微孔均匀导入；气路系统：由三路浮子流量计控制；反应气体工作压强：几Pa至几千Pa可调；本底真空：≤1Pa；2XZ-4型旋片真空泵。（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 1 6 直流磁控溅射镀膜装置 本底真空：≤1Pa；极限真空：6×10-1Pa；旋片真空泵；沉积室Φ220×H 230mm3；溅射靶φ50mm；靶台和靶距离：20～60mm；基片加热：室温～300℃；直流功率源：500W；气源流量：6～60ml/min，60～600ml/min；整机功率1.5KW（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 1 7 射频磁控溅射镀膜装置 本底真空：≤1Pa；极限真空：6×10-1Pa；旋片真空泵；沉积室：220×H 230mm3；溅射靶φ50mm；靶台和靶可调距离：20～60mm；基片加热：室温～300℃；射频源功率：500W，13.56MHZ；气源流量：6～60ml/min，60～600ml/min；整机功率2KW（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 2 8 循环水冷却机组 输入功率：1250W；制冷量：3000W；额定电流：5.7A；水温范围：10～25℃；控温精度：±1℃；储水量：70L；水流量：0.5～3m3/h（完成实验所需的全部工作）含工程费 台 2 9 氢气发生器 完成实验所需的全部工作 台 1 16 高倍光学显微镜，带图象分析 PL10X/18mm平场目镜2个，WF15X/13mm广视场目镜2个；金相物镜4X、10、20、40、60X；30°铰链式三通360°旋转头；粗微同轴调焦机架：平台升降弯臂机架座；转换器：中三孔；180X145mm平板平台；插入式切片组；90-240V宽电压，6V/30W卤素灯；滤色片：黄色、绿色、兰色、中性；35X摄像接筒，带300万像素摄像头 台 1 17 功能薄膜特性测试仪装置 本底真空度：≤10 Pa；可控范围：10～400Pa；衬底加热：室温～300℃；电阻率：0.001～200Ω.cm；电导率：0.005～1000 s/cm；电阻：0.001～200Ω.cm；可测晶片直径： 200mmX200mm，间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针压力：5～16 牛顿(总力)；恒流源：0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调；误差±0.5%；数字电压表：0-199.99mV；分辨率:10μV；输入阻抗1000MΩ：精度:±0.1%；指针式高阻计测量：1×106-1×1017Ω，精度：±10%±20%；微电流测