探针知识方法测量半导体电阻率.pptVIP

一 实验目的 1、理解四探针方法测量半导体电阻率的原理； 2、学会用四探针方法测量半导体电阻率。 二 实验原理 1、体电阻率测量： （a）块状和棒状样品体电阻率测量： 由于块状和棒状样品外形尺寸与探针间距比较，合乎于半无限大的边界条件，电阻率值可以直接由（１）、（２）式求出。 （b）簿片电阻率测量 簿片样品因为其厚度与探针间距比较，不能忽略，测量时要提供样品的厚度形状和测量位置的修正系数。 2、带扩散层的方块电阻测量 当半导体薄层尺寸满足于半无限大时： 若取I ＝ 4.53 I0，I0为该电流量程满度值，则R0值可由数字表中直接读出的数乘上10后得到。 三 仪器结构特征 数字式四探针测试仪主体部分由高灵敏度直流数字电压表、恒流源、电源、DC-DC电源变换器组成。为了扩大仪器功能及方便使用，还设立了单位、小数点自动显示电路、电流调节、自校电路和调零电路。 仪器电源经过DC-DC变换器，由恒流源电路产生一个高稳定恒定直流电流，其量程为10μA、100μA、1mA、10mA、100mA，数值连续可调，输送到１、４探针上，在样品上产生一个电位差，此直流电压信号由２、３探针输送到电气箱内。具有高灵敏度、高输入阻抗的直流放大器中将直流信号放大（放大量程有0.2mV、2mV、20mV 、200mV、2V），再经过双积分A/D变换