COMSOLMUlTiphySiCS在微流体与MEMS中应用.pdf

COMSOL 2012中国区用户大会 技术论坛 MEMS与微流体专题 中仿科技 技术部 2012年10月24 日 MEMS广泛应用  各种传感器 • 加速度计、陀螺仪 汽车安全、手机 • 压力传感 胎压测试 • 温度传感 • 表面波传感 … … MEMS  各种执行器 • 静电驱动器 • 热驱动器 • 电磁驱动器 • 压电驱动器  各种换能器 仿仿 真真 智智 领领 创创 新新 SimulatingSimulating inspiresinspires innovationinnovation MEMS 微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems） Micro：小尺度 Electro：电磁现象 Mechanical：移动、变形 Systems ：多种物理现象集成 本质：微尺度、多物理场问题 仿仿 真真 智智 领领 创创 新新 SimulatingSimulating inspiresinspires innovationinnovation MEMS典型问题 • 电-结构 驱动器执行器 – 静电 – 压电效应 – 压阻效应 • 电-热-结构 传感器 – 焦耳热 – 热膨胀 – 热-弹性阻尼 • 流固耦合 换能器 – 流体粘度 – 杨氏模量、泊松比 • 电化学 – 电渗、电泳 微流体 – 电化学反应 • 电-声-