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Amorphous Silicon Thin Film
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Transistors Liquid Crystal Displays
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(A-Si TFT-LCDs)
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Process Technology and Array Design
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Dr. Fang-Hsing Wang ( 汪芳興)
Dec, 20, 2002
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Wintek Talk / 汪芳興
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Outline
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1. TFT Technology for AMLCD
2. Amorphous Silicon
3. Materials and Processing for a-Si TFT
4. Design Consideration of a-Si TFT LCD
5. Summary and Future Trend
Wintek Talk / 汪芳興
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Process Technology of Amorphous Silicon
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Thin Film Transistors
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1. TFT Technology for AMLCD
• Introduction to TFT
• Advantages and disadvantages
• Applications and classification
• Overview of AMLCD technology
2. Amorphous Silicon
3. Materials and Processing for a-Si TFT
4. Design Consideration of a-Si TFT LCD
5. Summary and Future Trend
3
Wintek Talk / 汪芳興
Wintek Talk / 汪芳興
Introduction to A-Si TFT-LCD
1885 奧㆞利植物學家Reintzer發現液態晶體
y
r 液晶 (liquid crystal) : 具有異方向性特質的液體
o
t 1972提出 a-Si:H TFT LCD 構想
s
i 1985 first Poly-Si TFT LCD (Seiko Epson)
H
1988 A-Si:H TFT-LCD量產
e
r Japan :
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