第1讲节电子光学.pdfVIP

课程简介 材料的宏观力学，物理和化学性质是由它的微观形态、 晶体结构和微区化学成分所决定的。电子显微术就是 由电子与物质的相互作用上所反映的信息来认识材料 的形貌、结构与微区成分的。它可以研究原子尺度 （特别是纳米尺度）的现象，而且可进行动态原位观 察以及对微区进行综合分析，它是材料科学与工程中 最常用的实验方法之一。 本课程作为学习电子显微术的入门课，主要介绍透射 电子显微术（电子衍射和透射电镜象的衬度原理）与 扫描电子显微术，阐明各种现象的物理本质，基本理 论及其应用与常用的实验方法，也介绍了电子显微术 的新的发展方向。 第一章 电子光学基础 2007年4月17月 光学显微镜的分辨率 • 由于光波的波动性，使 得由透镜各部分折射到 像平面上的像点及其周 围区域的光波发生相互 干涉作用，产生衍射效 应。一个理想的物点， 经过透镜成像时，由于 衍射效应，在像平面上 形成的不再是一个像 点，而是一个具有一定 尺寸的中央亮斑和周围 明暗相间的圆环所构成 的Airy斑。如图5-1所 示。 透镜分辨率 • 测量结果表明Airy斑的强度大约84%集中在中心亮斑上，其余 分布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度比较低，一般肉眼 不易分辨，只能看到中心亮斑。因此通常以Airy斑的第一暗环 的半径来衡量其大小。根据衍射理论推导，点光源通过透镜产 生的Airy斑半径R0的表达式为： 0.61 λ R M 0 • n sin α （5-1） • 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上相应 的两个物点间距（Δr0）定义为透镜能分辨的最小间距，即透 镜分辨率（也称分辨本领）。由式5-1得： • =Δ r R0 即 =Δ r 0.61 λ （5-2） 0 M 0 n sin α • 对于光学透镜，当n•sinα做到最大时（n≈1.5，α≈70- λ Δ ≈r 75°），式（5-2）简化为： 0 2 有效放大倍数 • 上式说明，光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波 长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最 短波长是390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是 ≈200nm。 • 一般地人眼的分辨本领是大约0.2mm，光学显微镜的最大 分辨率大约是0.2μm。把0.2μm放大到0.2mm让人眼能分 辨的放大倍数是1000倍。这个放大倍数称之为有效放大倍 数。光学显微镜的分辨率在0.2μm时，其有效放大倍数是 1000倍。 • 光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但是，高出的部分 对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察更舒服而已。 所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-1500之间。 如何提高显微镜的分辨率 • 根据式（5-3），要想提高显微镜的分辨率，关键是降低 照明光源的波长。 • 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找，紫外光的波长在13- 390nm之间，比可见光短多了。但是大多数物质都强烈地 吸收紫外光，因此紫外光难以作为照明光源。 • 更短的波长是X射线。但是，迄今为止还没有找到能使X射 线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质，也就是说还没