消费性电子产品需要的MEMS元件和应用功能.pptVIP

消費性電子產品需要的MEMS元件與應用功能 MEMS元件主要供應商 電容式加速度計結構示意圖 以Epson Toyocom QMEMS製程做的雙T架構陀螺儀感測器外觀 Qualcomm提出的IMOD反射顯示技術產品結構 Sitime推出的矽MEMS振盪器架構 運動感測器可應用的領域廣泛 村田頑童和村田小妹機器人外觀 Copyright (C) 大椽股份有限公司 (DIGITIMES Inc.) All Rights Reserved. 資料來源：DIGITIMES，2009/2 消費性電子 MEMS元件 應用功能 PND、 PMP 加速度計、MEMS麥克風、陀螺儀、MEMS振盪器、微型投影機、MEMS平面顯示、壓力感測器、RF MEMS開關 1. 使用者介面(影像播轉、目錄瀏覽、遊戲互動) 2. 健身／計步器 3. 輔助導航 4. 急難救助／安全應用 5. 微型投影 6. 低功耗、高彩度顯示器 7. 高度感測 8. 天氣預測 9. 省電功能 搖控器、遊戲機 加速度計、MEMS振盪器、陀螺儀 使用者介面 數位相機、 攝影機 加速度計、MEMS麥克風、MEMS振盪器、陀螺儀 1. 使用者介面 2. 影像穩定 3. 硬碟落地保護 4. 省電功能 玩具 加速度計、MEMS振盪器、陀螺儀 1. 運動控制 2. 環境變化感測 資料來源：DIGITIMES，2009/2 MEMS元件 廠商 加速度計 ADI、ST、Freescale、VTI、Kionix、 Bosch 陀螺儀 ADI、Invensense、Epson Toyocom MEMS麥克風 Knowles、Akustica、ADI、ST、Freescale、Wolfson、Infineon、Sonion、Omron、美律 微型投影元件 TI、Microvision MEMS振盪器 Epson Toyocom、Sitime、Discera、Silicon Clock、Mobius Microsystems MEMS平面顯示元件 Qualcomm MEMS(產品：IMOD)、Pixtronix(產品：MEMS shutter) RF MEMS開關 RFMD、Epcos、Wispry 資料來源：ST，DIGITIMES整理，2009/2 矽材料結構 MEMS模式 Anchor(固定基座) Spring(彈簧) 活動電極(Mobile electrode) 固定電極(Fixed electrode) 資料來源：Epson Toyocom，2009/2 資料來源：QMT (Qualcomm MEMS Technology)，DIGITIMES，2009/2 Open State開放狀態 Collapsed State塌陷狀態 Incident light入射光 Glass substrate玻璃基板 Thin Film Stack薄膜堆疊 Air Gap空氣間隙 Reflective Membrane反射薄膜 註：IMOD為干涉測量調節器顯示(Interferometric Modulator Display)。 資料來源：Sitime，DIGITIMES整理，2009/2 Encapsulation layers封裝層 Non-Volatile Memory非揮發性記憶體 Oscillator Drive振盪器驅動 Output Buffer輸出緩衝 資料來源：ST，2009/2 資料來源：CEATEC JAPAN，2008/10 Copyright (C) 大椽股份有限公司 (DIGITIMES Inc.) All Rights Reserved.