JSD-300型蒸发镀膜机使用说明书.docVIP

安徽嘉硕真空科技有限公司 安徽嘉硕真空科技有限公司 PAGE PAGE 9 JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司 目 录 1、概述…………………………………………………………………………………………………………3 2、主要技术性能参数………………………………………………………………………………3 3、设备安装……………………………………………………………………………………………….5 4、操作规程……………………………………………………………………………………………….5 5、使用注意事项、维护与保养…………………………………………………………….7 6、设备主要配置……………………………………………………………………………………….8 7、技术资料清单…………………………………………………………………………………………9 一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 真空室：φ300*H450mm； 基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 最大可镀工件直径：φ120mm； 极限真空度：1X10-4Pa; 抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min； 蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW； 开启方式：上翻盖结构； 真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等； 真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。 系统示意图如下所示： 备用接口步进电机膜厚仪探头电机控制器地脚脚轮温控仪表加热温控电源封板分子泵电源观察窗挡板电流表调节旋纽前门板插板阀预抽阀门观察窗总开关电离单元真空室陶封电极电阻单元真空计膜厚仪蒸发开关电控面板 备用接口 步进电机 膜厚仪探头 电机控制器 地脚 脚轮 温控仪表 加热温控电源 封板 分子泵电源 观察窗挡板 电流表 调节旋纽 前门板 插板阀 预抽阀门 观察窗 总开关 电离单元 真空室 陶封电极 电阻单元 真空计 膜厚仪 蒸发开关 电控面板 图1 JSD-300真空镀膜机示意图 三、设备安装 3.1、机架平面尺寸：L1200×W700mm。 3.2 、配套设施准备 设备安装前，客户应提供如下条件： 3.2.1 整机配电要求 安装位置附近应有易得的电源插座； 供电：交流220V，8KW。 3.2.2 联接地线要求 本设备必须进行良好接地。使用前，需将设备与安装场地内的地线进行有效连接。 3.2.3 冷却水安装 设备使用时，须对分子泵、电极等进行冷却。设备使用前，先接通冷却水。 四、 操作规程 4.1 开机准备工作 4.1.1 总供电检测：用万用表测量用户端的电压是否正常，若为三相，检测三相是否正常，零线及地线是否有效； 4.1.2 冷却水检测：将设备的冷却水接通后打开冷却水阀门，为设备供水，观察出水口是否有水流出，保证各水路畅通。 4.1.3 电气检查：检查总供电电源配线是否完好，地线是否接好，所有仪表电源开关全部处于关闭状态。 4.1.4 真空系统检测：检查分子泵、机械泵油是否达到使用要求。检查所有手动阀门是否处在关闭状态（注意，本设备中所使用的手动阀门，顺时针方向为关，逆时针为开）。确定真空室已经处在抽真空的准备状态。 4.1.5 镀材安装：本设备的配置二组蒸发电极，蒸镀前在蒸发舟上安装需要镀制的材料。 4.1.6 基片安装：先将样品（待镀基片）清洗干净后，将基片装到基片盘上。 4.2 开机 4.2.1 启动总电源：确认所有电源开关都在关闭状态后，转动总控制电源开关，相关仪器表盘灯亮，供电正常。如果相关仪器表盘灯不亮，应检查供电电源是否有问题。在确认电源正常之后方可进行下一步工作。 4.2.2 启动机械泵: 按下控制面板上的机械泵开关，机械泵指示灯亮，此时机械泵工作。机械泵工作后，打开预抽阀，对真空室进行抽气，然后打开电磁阀对分子泵泵腔进行预抽。打开真空室复合真空计进行测量。（复合真空计及规管说明书见附件：《微机型数显复合真空计使用说明书》。） 4.2.3 启动分子泵：确认分子泵的冷却水均处于接通状态，待真空度达到10Pa以下时，打开分子泵控制器（按下分子泵控制电源面板上的工作按纽），启动分子泵，约1-2分钟分子泵完全