2．2．4半导体气敏传感器.pptVIP

第2章 半导体气敏传感器 气敏传感器能够有选择地将气体浓度转化为相应的电信号。自从l 962年用金属氧化物多晶制成的可燃性气体传感器面世，其中薄膜型元件尤其受到重视，除了元件体积小、功耗低、特性一致性好等种种优点之外，薄膜技术可与集成电路的制造工艺兼容，这是极其重要的。 半导体气敏传感器依控制机理可分为两类，一类是电阻控制型气敏传感器；另—类是非电阻型气敏传感器。 实际应用中，气敏传感器应满足下列要求： (1)具有良好的选择性。 (2)具有较高的灵敏度和宽响应动态范围。 (3)性能稳定。 (4)响应速度快，重复性好。 (5)保养简单，价格便宜等。 电阻控制型气敏传感器机理 电阻控制型气敏传感器是通过敏感元件与被测气体的接触引起的电导变化来检测气体的。依据发生变化的是表面电导还是体电导可分为表面电导型传感器和体电导型传感器。 这种传感器的敏感元件有多种构造。 晶界势垒模型 晶界势垒模型基于半导体气敏材料是由许多晶粒组成的多晶体，在晶粒接触的界面处存在着势垒和界面态。以检测可燃性气体的SnO2材料为例，一般情况下，界面处吸附氧化性气体(如空气中的O2或NO2等)，界面态被氧原子所饱和。由于氧从半导体晶粒表面吸附