西安电子科技大学半导体物理课件——第八节 半导体表面跟mis结构.pdfVIP

第八章 半导体表面和MIS 结构 主 讲：施 建 章 E-Mail: jzhshi@mail.xidian.edu.cn 西安电子科技大学技术物理学院 二零零七年九月 主要内容 表面态概念 表面电场效应 硅-二氧化硅系统性质 MIS 结构电容-电压特性 表面电场对pn 结特性的影响 几个基本概念 表面：固体与真空之间的分界面，不具有体内三维周期性的 原子层。 界面：不同物质之间或不同相之间的分界面。 理想表面：表面层中原子排列的对称性与体内原子完全相 同，且表面不附着任何原子或分子的半无限晶体表 面。——理想晶体中假想的分界面！ 实际表面： 清洁表面：没有杂质吸附和氧化层的实际表面。 真实表面：含有氧化物或其它杂质、化合物以及物理吸附的实际 表面。 表 面 态 定义：