电子陀螺仪原理跟构造.doc

PAGE 2 Highly Integrated Nanotechnology MEMS陀螺仪传感器产业探究 目录： TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc274826595 一、MEMS陀螺仪市场现状 PAGEREF _Toc274826595 \h 2 HYPERLINK \l _Toc274826596 第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总 PAGEREF _Toc274826596 \h 2 HYPERLINK \l _Toc274826597 第二节、MEMS在我国的产业现状 PAGEREF _Toc274826597 \h 2 HYPERLINK \l _Toc274826598 二、MEMS陀螺仪介绍 PAGEREF _Toc274826598 \h 3 HYPERLINK \l _Toc274826599 第一节、什么是微机械（MEMS）？ PAGEREF _Toc274826599 \h 3 HYPERLINK \l _Toc274826600 第二节、微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理 PAGEREF _Toc274826600 \h 3 HYPERLINK \l _Toc274826601 第三节、微机械陀螺仪的结构 PAGEREF _Toc274826601 \h 4 HYPERLINK \l _Toc274826602 三、MEMS技术的加工工艺 PAGEREF _Toc274826602 \h 6 HYPERLINK \l _Toc274826603 第一节、体加工工艺 PAGEREF _Toc274826603 \h 6 HYPERLINK \l _Toc274826604 第二节、硅表面微机械加工技术 PAGEREF _Toc274826604 \h 7 HYPERLINK \l _Toc274826605 第三节、结合技术 PAGEREF _Toc274826605 \h 7 HYPERLINK \l _Toc274826606 第四节、逐次加工 PAGEREF _Toc274826606 \h 8 HYPERLINK \l _Toc274826607 第五节、LIGA工艺 PAGEREF _Toc274826607 \h 8 HYPERLINK \l _Toc274826608 第六节、THEMLA工艺流程 PAGEREF _Toc274826608 \h 9 HYPERLINK \l _Toc274826609 四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计 PAGEREF _Toc274826609 \h 9 HYPERLINK \l _Toc274826610 第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构 PAGEREF _Toc274826610 \h 9 HYPERLINK \l _Toc274826611 第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析 PAGEREF _Toc274826611 \h 10 HYPERLINK \l _Toc274826612 第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案 PAGEREF _Toc274826612 \h 11 HYPERLINK \l _Toc274826613 五、基于GPS的汽车导航系统的设计与实现 PAGEREF _Toc274826613 \h 12 HYPERLINK \l _Toc274826614 第一节、主体控制方案 PAGEREF _Toc274826614 \h 12 HYPERLINK \l _Toc274826615 第二节、GPS定位系统设计 PAGEREF _Toc274826615 \h 13 HYPERLINK \l _Toc274826616 第三节、车体部分MCU 主控模块设计 PAGEREF _Toc274826616 \h 14 HYPERLINK \l _Toc274826617 第四节、系统软件设计 PAGEREF _Toc274826617 \h 14 一、MEMS陀螺仪市场现状 MEMS陀螺仪即微机电系统陀螺仪，是一种微型传感器，主要用于手机及游戏机等领域。与普通芯片相比，除计算功能外，此产品还具有感知功能，通过内置的 陀螺仪传感器 可以感知外界运动，并做出相应反应。 在具体应用上，MEMS芯片可以用在消费类电子产