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电子与物质相互作用 衬度的形成 电子显微镜的组成：电子枪、透镜、荧光屏 样品制备过程：为什么，怎么办 开机，观察 解释图像：是否是自己想要的结果 透射电子显微镜 透射电子显微镜 电子衍射分析：在结构分析中讲 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 从电子枪发出的电子束经聚光镜，物镜聚焦后，入射到式样上，式样发出的二次电子和背散射电子由电子探测器接收。在物镜内部有二组偏转线圈，由锯齿波发生器向线圈供电后，可以使电子束在试样上扫描。改变扫描范围可以得到不同放大倍数的像。 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第十一节 扫描电子显微镜（SEM）主体结构 第二章 电子显微镜 第七节 透射电镜的成像衬度 形成衬度的原理 （1）散射衬度 小孔成像意味着只允许散射角小于?的散射电子 通过物镜成像，所有大于?都被物镜光阑挡掉，不参与成 像。 设电子束射到原子量为M，原子序数为Z，密度为? 和厚度为t的样品上，透过样品的电子数为： 第二章 电子显微镜 第七节 透射电镜的成像衬度 形成衬度的原理 （1）散射衬度 令N1、 N2为A、B区样品单位参与成像的电子数 则A，B两区的电子衬度G为： 第二章 电子显微镜 第七节 透射电镜的成像衬度 形成衬度的原理 （1）散射衬度 对于相同的材料： 第二章 电子显微镜 第七节 透射电镜的成像衬度 形成衬度的原理 （2）衍射衬度 当电子入射方向与某一组晶面间距d的夹角?满足布拉格公式时，就发生衍射。在透镜作用下，衍射束会聚成衍射斑点 （3）相位衬度 同光学显微镜类似 第二章 电子显微镜 第七节 透射电镜的成像衬度 形成衬度的原理 第二章 电子显微镜 第八节 透射电镜样品制备 用于透射电镜的试样不仅尺度很小，而且要很薄，使电子束能穿过。因此样品制备对透射电镜很重要。 目前，已发展了很多种方法，各有其特点和应用范围 主要有：1. 支持膜法 2. 复型法 3. 薄试样制备 a. 化学腐蚀法； b.电解抛光法； c. 喷射电解抛光法； d. 离子轰击法。 1. 分辨率：～0.2nm 2. 放大倍数：100～60×104 3. 焦深和景深： 4. 加速电压： 第二章 电子显微镜 第八节 透射电镜样品制备 电镜的主要技术指标 电子束在薄试样中的扩展度b是电子束达到下表面时的直径与入射到上表面时直径之差 第二章 电子显微镜 透镜 观察屏 Q x ? P D R Qi Pi xi 景深D＝x/? 分辨率＝1nm，物镜?＝5?10－3，D＝200nm 第二章 电子显微镜 P ? ?i Di Pi dM 透镜 观察屏 ?i=?/M 焦深 Di=DM2/ ? 第二章 电子显微镜 第九节 透射电镜应用 1. 分析固体颗粒的形状，大小，粒度分布等； 2. 研究由表面起伏现象所表现的微观结构问题； 3. 研究样品中各部分对电子散射能力不同的微观结构 4. 研究金属薄膜及其他晶态薄膜中各种对电子衍射敏感的结构问题； 5. 电子衍射分析 第二章 电子显微镜 第九节 透射电镜应用 When injecting Xe ions into an aluminum (Al) substrate, Xe microcrystals combine with each other to form Xe nanoparticles. Figure 3a shows the state before the microcrystals combine: Figure 3b shows the state during the microcrystals merge: Figure 3c shows the state a