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2018-08-26 发布于湖北
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微电子行业入门通用教本.pdf

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微电子行业入门通用教本

半导体基础知识与晶体管工艺原理目录第一章半导体的基础知识 1-1 半导体的一些基本概念 1-1-1 什么是半导体？……………………………………………………4 1-1-2 半导体的基本特性………………………………………………. .4 1-1-3 半导体的分类……………………………………………………...4 1-1-4 N 型半导体和 P 型半导体……………………………………….5 1-1-5 半导体的导电机构……………………………………………….6 1-2 P-N 结……………………………………………………………………… 1-2-1 P-N 结的构成…………………………………………………….9 1-2-2 P-N 结内的载流子运动和平衡…………………………………10 1-2-3 P-N 结的基本特性………………………………………………10 1-3 二极管………………………………………………………...……………12 1-3-1 二极管的基本构成………………………………………………..12 1-3-2 二极管的特性曲线（伏安特性）………………...…………….12 1-3-3 二极管的分类…………………………………………………… 1-4 晶体管（仅讲双极型）……………………………………………………13 1-4-1 晶体管的构成…………………………………………………….13 1-4-2 晶体管的放大原理……………………………………………….15 1-4-3 晶体管的特性曲线……………………………………………….18 1-4-4 晶体管的分类…………………………………………………….21 1-4-5 晶体管的主要电参数…………………………………………….21 2 第二章晶体管制造工艺与原理 2-1 典型产品工艺流程……………………..…...………………………………24 2-1-1 晶体管的基本工艺流程…………………………………………..24 2-1-2 典型产品的工艺流程…………………………………...…………24 2-2 晶体管制造主要工艺的作用与原理……………...………………………..25 2-2-1 氧化工艺…………………………………………………………..25 2-2-2 扩散工艺…………………………………………………………..26 2-2-3 离子注入工艺……………………………………………………..30 2-2-4 光刻工艺…………………………………………………………..31 2-2-5 蒸发（真空镀膜）工艺…………………………………………..32 2-2-6 CVD 工艺…………………………………………………………..33 2-2-7 台面工艺…………………………………………………………..34 2-2-8 三扩、磨抛工艺…………………………………………………..35 2-2-9 清洗工艺…………………………………………………………..36 2-2-10 中测、划片工艺…………………………………………………36 2-3 常见的工艺质量问题以及对产品质量的影响……………………………….37 2-3-1 工艺质量问题分类…………………………………………………37 2-3-2 常见的工艺质量问题举例…………………………………………37 2-4 工艺纪律和工艺卫生的重要性……………………………………………….41 2-4-1 半导体生产对空气洁净度的要求…………………………………41 2-4-2 工艺卫生的内涵…………………………………………………..42 2-4-3 工艺卫生好坏对半导体生产的影响…………………………