显微分析的技术.电子显微镜-5.pptVIP

* 应 用 高分子微球的TEM照片 “高尔夫”型微球的TEM照片 特殊形态微球的电镜图片 24h 2h 6h 电镜仪器 扫描探测和椭圆光度显微镜法（SPEM） ＋ ＝ SPEM是一台把扫描探测显微镜方法( SPM )和影像椭圆光度法两种方法结合在一起的分析仪器。 场发射透射电子显微镜 1.点分辨率： 0.19nm2.线分辨率： 0.14nm3.加速电压： 80, 100, 120, 160, 200kV4.倾斜角： 255.STEM分辨率： 0.20nm JEM-2100F 扫描电子显微镜 JSM-6360LV 1.高真空模式：3.0nm 低 真空模式：4.0nm2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切换3.样品台X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree R:360degree4.加速电压0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱 用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。 1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电 压下高质量的图像。 2.全自动电子枪3.高灵敏度半导体背散射探头 4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统 5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品 主要特点 KYKY-2800B型扫描电子显微镜 1.分辨本领： 4.5nm 2.放大倍数： 15X～250,000X 3.加速电压： 0.1kV～30kV 4.试样尺寸： Φ60mm（最大） 1、分辨率 6.0nm(钨丝阴极) 2、放大倍数 15倍～250000倍 3、电子光学系统 电子枪： 发叉式钨丝阴极  加速电压：0～30KV  透镜系统：三级电磁透镜  物镜光阑：三个可在真空外选择调节 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜 CSPM 3000系列扫描探针显微镜 广泛的应用范围 物理学 化学 生物和生命科学 材料科学 微电子科学和技术 表面科学 纳米科学和技术 CSPM3000系列多模式扫描探针显微镜 性能指标 ■ 分辨率： 扫描探针显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标） 原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标） ■ 探针激励信号： 振幅为0～2V 频率为 DC～1000kHz （32-bit分辨率） AP-990?原子力显微镜? ?????????????????? Atomic Force Microscopes 观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的失效分析. 扫描探针显微镜 Scanner ???X,Y?scan?size:?200?×?200?micron ???X,Y?resolution:?1?nm ???Z?range:?15?micron ???Z?resolution:??0.5?nm Approach ???Type:?Automatic ???Length:??1.5?mm ?Operation ????Mode:?AC,?DC,?LFM,?MFM. ???Optional?mode:?STM,? Conductive?AFM. ???Imaging:?Topography,?Phase, ????Lateral?Force. Objective ???Type:?Bright?Field. ????Focal?length:?95?mm. Magnification:?15X.  AJ-Ⅰ型扫描隧道显微镜（STM) 1.STM探头 2.悬吊式抗震架 3.AJ-Ⅰ型扫描隧道显 微镜 控制箱 4.控制软件及离线软件 5.测试样品及常用备品备件 主要特点 *