高压气体终端净化技术在标准气体配制中的运用3.pdfVIP

第 25卷第 5期 低 温 与 特 气 Vo l25,No5 2007年 10月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Ga se s O ct, 2007　 应用技术 高压气体终端净化技术在标准气体配制中的应用 孙福楠 , 吴江红 , 冯庆祥 (光明化工研究设计院 , 辽宁 大连 甘井子 甘北路 34 号 　11603 1) 摘要 : 介绍了气体高压净化技术在标准气体制备中的应用 , 随着标准气体制备难度加大及市场竞争加剧 , 该技 术将得到广泛的应用 。多年的实验结果表明该技术具有广阔的市场空间。 关键词 : 气体净化 ; 高压净化器 ; 超纯气体 ; 中图分类号 : TQ 117 文献标识码