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半导体设备产业崛起在中国 本刊记者 赵明华 1引言 品产值，并创造100元国内生产总 场表现颇佳，这与2006年全球半导 “科技是第一生产力”是众所 值，因此集成电路产业的振兴对一 体厂商迅速提高产能有关。详见表 周知的事实，但另一个事实也许并 个国家的经济发展有着重要的战略 1：2004-2009年全球半导体设备区 不为所有人知道：在我国国民经济 意义。 域市场变化。 的发展中，电子信息产业是龙头， SEMI认为，由于众多芯片制造 而集成电路产业则是整个电子信息 2全球设备市场风起 商都开始增加设备投资，（特别是 产业的核心和基础。 云涌 在购置200mm和300mm方面）， 集成电路对设备生产、原材 顶级美国市场调研公司IC In-引进新技术和工艺，世界半导体设 料以及生产环境的要求十分苛刻。 sights日前表示，半导体制造设备 备业将于2007年进入最佳时期。表 制造的工序有800多道，耗时20天 市场继2004年表现亮丽并在2005年 2是SEMI对未来几年不同类型设备 以上，只要一道工序出现问题或者 下滑之后，目前正在持稳。2006年 的市场销售预测。 一粒尘埃落在产品上，都会导致产 该市场营收已达到了345亿美元。 中国半导体产业的飞速发展为 品报废，造成巨大的经济损失。这 2006年7月SEMI预测2006年 半导体设备业带来了广阔的市场。 也直接导致集成电路产业几乎成为 全球半导体设备市场为388.1亿美 国际半导体设备暨材料协会(SEMI) 全世界上最昂贵的“吞金”产业。一 元，比2005年增长18%，这与2006日前发表预测，2006年到2008年 般来说，投资一条8英寸的集成电 年全球半导体市场增长8%-11%密 期间，中国半导体设备总销售额预 路生产线需要 10亿美元，而建设 切相关。预计2007年可达到393.计为66亿美元，从半导体设备资本 一条12英寸的集成电路生产线所 6美元。2006年全球半导体设备市 支出来看，SEMI预计2006年与 需的资金更是高达15亿- 20亿美元，因此集成电路 的生产实际上也是对一个 国家整体工业水平和经济 实力的考验。在中国，每 1元人民币的集成电路产 值可以带动 10元电子产 18半导体行业 2007 / 2 备可提供使用；0.5微米生产线主要 设备 （包括电子束曝光机、光刻 机、离子注入机、I M D C V、 D MRIE、PVD）的原型样机已经提 2007年基本持平。SEMI表示，预 3.1设备产业基本情况 供用户。0.25微米以上水平设备的 计2006年中国总体半导体设备支出 随着半导体设备市场的快速发 单元技术有所突破；0.1微米、10 将从2005年的10亿美元劲增至20.展，我国从事半导体设备开发和生 级的空气净化产品和检测仪器，超 3亿美元，2007年微升至20.5亿美 产的企业正在迅速增加，已从2002纯水处理设备和超纯气体净化设备 元，而2008年将达到25.6亿美元。 年的40个发展为2006年的60个 （包 已有系列产品；有些品种的半导体 2006-2008年中国半导体设备总资 括兼做单位），其中主要单位20家 塑封模具已可满足需要；适应线宽 左右，自主研制的集成电路专用设 1微米以上、64腿以下集成电路的 本支出为66亿美元，其中300 mm 晶圆设备将占中国半导体设备总资 备达到上百个品种。大部分企业从 数/