福建国家重点监控企业自行监测方案-联芯集成.PDF

版本号：0507101440 福建省国家重点监控企业 自行监测方案 企业名称： 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 所在设区市： 厦门市翔安区 2018-05-10 — 1 — 版本号：0507101440 一、企业概况 我司基本信息如下所示： 表 1 企业基本信息 企业名称 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 地址 厦门市翔安区万家春路 899 号 法人代表 尤朝生 环保负责人 王艳娟 手机 企业规模 中一型 投产时间 2016-06-12 [3963]集成电 所属行业 生产周期 365 路制造 占地面积（万 25.5 职工人数（人） 1036 m2） 生产工艺及产、排污情况 芯片生产可简要概括为三大步骤： 步骤一：在晶片上形成薄膜，薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属（铜、 钽、钨、铝等）等，成膜工艺包括：热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积； 步骤二：将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上，在薄膜上形成需要的 器件图形或线路沟槽，工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术； 步骤三：在上述基础上进行器件加工和线路连接，工艺包括：扩散、离子注入、 金属化等。 产、排污情况见右图。 — 2 — 版本号：0507101440 生产工艺图 污染处理设施建设、运行情况 公司废水、废气、噪声均建设有配套的污染防治设施，建设情况符合 “三同时” 要求，且已通过阶段性（第一阶段）验收，运行正常。 1.生产废水主要为：含磷废水、含氨废水、含氟废水、含铜废水、综合废水等。 配套建设废水处理设施主要包括:含磷废水处理系统、含氨废水处理系统、含 氟废水处理系统、含铜废水处理系统、中和处理系统。处理达标后与生活污水通 过总排口排入翔安污水处理厂。 2.废气处理设施主要包括：酸性废气处理系统、碱性废气处理系统、酸碱性废 气处理系统、酸腐蚀性废气处理系统、有机废气处理系统、废水站一般废气处理 系统、废水站氨氮系统废气等 20 套设施，即 20 根废气排气筒。但其中包含备用 设施 4 套，只在同型设施异常时开启，故正常状态下运行设施计 16 套。 另外公司有备用天然气锅炉一台，平常不开启，仅在热泵能力不足时才开；且 其功率 4.1KW，根据监测指南要求，不属于主要污染源，公司环评文件中亦未对其 监测频次进行要求，故本方案中不含锅炉。 — 3 —