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低温退火对重掺砷直拉硅片氧沉淀形核作用！.PDFVIP

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  • 2018-09-01 发布于湖北
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低温退火对重掺砷直拉硅片氧沉淀形核作用！.PDF

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’ !! #%%( !! ， ， ， R=: -’ Q= - !! Q=SC7TCU #%%( （ ） !%%%/$#*%I#%%(I’ !! I!%(/%. 0JK0 LMNOPJ0 OPQPJ0 !#%%( JH9+ - LH1 - O=E - 低温退火对重掺砷直拉硅片的氧沉淀形核的作用! ） ） ）） ） ） ） ! ! ! # ! # !

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