基于数字全息法的透镜测量技术研究.docVIP

基于数字全息法的微透镜测量技术研究 学 科：光学工程 研究生签字： 指导教师签字： 摘 要 微透镜最大的特点就是它的尺寸较小、重量也很轻、容易集成，不仅在军事领域发挥重要作用，而且广泛应用在民用各种光电仪器设备中。由于它广泛的应用，所以对它的一些参数进行测量显得十分必要。目前测量微透镜的方法有探针测量和干涉测量两种。探针测量需要重复选取合适的测量位置和路线，而且可能对被测元件表面结构造成损伤。干涉法测量精度高，但环境要求较高，结构复杂。近年来，随着微光学器件的快速发展，微透镜检测的需求越来越多，不仅要实现快速检测，而且测量精度也要满足用户要求。数字全息法具有光学系统简单，操作方便，成本低廉,精度高，信息容量大等特点。本文在分析比较一般检测微透镜技术优缺点的基础上，研究了基于数字全息法测量微透镜的三维轮廓。为了测量微透镜的像差探讨了哈特曼的测量方法，完成了以下工作： 1) 在理论研究方面，分析了数字全息图的数学模型和记录数值再现的实现方法，推导出无透镜傅里叶变换数字全息的数值再现公式。重点分析CCD参数在应用中对于记录条件的限制，研究了记录物体的最大尺寸与记录距离间的数学关系、以及物光和参考光的最大夹角。并且指出：相对于平面光波，用球面光波记录全息图可以更有效地利用CCD的频谱宽度。 2) 在数字全息的计算机仿真方面，根据数字全息的相关理论，进行了数字全息术的计算机仿真研究，对