精密测量的技术05.ppt

第五章 角度与圆分度误差的测量 第一节 角度检测概述 第二节 角度测量 第三节 圆分度误差测量 前已述及，在长度测量中有长度基准及其量值传递的问题。那么角度测量中是否也有角度基准与量值传递的问题呢？将被测角度与标准角度进行比较并确定被测角度的量值，这是角度测量。而标准角度则应事先用精度更高的角度标准检定过。 这种逐级用高精度角度标准检定低精度角度标准的过程，就是角度量值的传递过程。 一、角度的单位和自然基准 二、角度的实物基准 1、角度块规： 2、多面棱体： 3、多齿分度盘： 4、圆光栅： 5、光电编码器： 6、圆感应同步器： 7、高精度度盘 在圆盘的某一圆周上刻有一系列的等分刻线以实现圆周等分的器件称为度盘。 度盘的角间隔一般为1o, 30′, 20′, 10′, 5′和4′几种。 用于角度及圆分度误差的静态测量。 单一角度尺寸的测量 直接测量 1.测角仪 2.工具显微镜 3.自准直仪 (相对测量） 4.激光干涉小角度测量仪（相对测量） 间接测量 坐标测量 平台测量 一、角度的直接测量 4、激光干涉小角度测量 第三节、圆分度误差测量 一、圆分度误差的概念 二、圆分度误差的直接测量 二、圆分度误差的直接测量 在度盘刻线圆周上均布m个读数装置同时读数，取m个读数的平均值作为测得值，则该测得值包含的刻线误差为： 圆分度误差数据处理 三、圆分度的相对测量 圆分度：将整个圆周进行若干等分。 例：若将圆周n等分，每分度360?/n 圆分度误差：分度要素的实际位置相对于理想位置的偏差，用θi表示。 2．零起分度误差 以零刻线的实际位置为基准，确定全部刻线的理论位置，并由此求得的分度误差称为零起分度误差，用 表示。零起分度误差的一般表达式为 3．分度间隔误差 度盘上相邻两刻线之间的角距离称为间隔。实际间隔角度值 与理论间隔角度值?0之差即为分度间隔误差，用fi表示。分度间隔误差的一般表达式为： 任意两刻线组成的间隔称为任意间隔。 最大分度间隔误差Fmax ——度盘的一个重要评定指标 4、直径误差：直径位置两个分度值取平均，两条刻线分度误差的平均值，叫做直径误差，用(?i)表示 要点： 刻线误差用来评定单边读数的度盘，而直径误差则用以评定对径读数的度盘。 刻线误差的封闭条件为0-360°，而直径误差的封闭条件则为0-180°， 即0～180°和180°～360°区域内刻线的直径误差完全相同。 直径误差能减小度盘圆分度误差对测量的影响； 直接测量法： 将被测圆分度器件与标准圆分度器件同轴安装， 直接比较被测件与基准，求得圆分度偏差。 原理：驱动主轴转动 →显微镜3粗定位 → 显微镜4精瞄准定位（5路信号的合成信号为0） →读显微镜5 光电式度盘检查仪： 组成：2－被测度盘：由2个光电显微镜5瞄准读数； 1－基准度盘：由5个光电显微镜4精瞄准， 由光电显微镜3粗定位； 误差：标准件误差、瞄准误差、读数误差。 1、基准度盘 2、被测度盘 3、粗瞄准光电显微镜 4、精瞄准光电显微镜 5、读数显微镜 光电式度盘检查仪的标准度盘上，采用了五个均匀分布的光电显微镜，即m=5，取其合成信号等于零作精确定位时，瞄准的是5根刻线的平均位置，其所包含的刻线误差为： * * 第一节、角度测量概述 1、角度的单位： 国际单位制：弧度(rad) → 分析、计算 非国际单位：度(°)、分(′)、秒() → 实际应用（加工、测试） 换算：1°= 60′, 1′= 60, 1rad = 180/π°≈ 57.296° 角度自然基准：360°圆周（绝对准确，没有误差） 2、角度的自然基准： 整圆周上所有角分度的误差之和等于零 圆周封闭原则： 在圆分度测量中，利用圆周封闭原则，可以提高测量精度。 形状：三角形（1个角度） 长方形（4个角度） 材料：与量块相同（稳定、耐磨） 基准：工作面的夹角 应用：测量零件角度，相对测量基准 精度：0级±3，1级±10，2级±30， 能够以最高的精确度将360o等分的圆分度器件就可以做为角度实物基准。 精度：±0.5～±1 形状：正棱柱体 面数：4、6、8、12、24、36、72 基准：各工作面法线的夹角 应用：测量圆分度误差（自准直仪） 1 --- 被测度盘； 2 --- 24面体； 3 --- 工作台； 4 --- 自准直仪； 5 --- 读数显微镜； 6 --- 底座 组成：上齿盘、下齿盘， 直径、齿数、齿形相同 齿数：360、720、1440 精度：±0.1 （弹性变形实现