压电陶瓷Z向偏摆平台-PhysikInstrumente.PDFVIP

压电陶瓷Z 向/偏摆平台 用于反射镜和光学元件的高动态三脚系统 S-325  光束偏转达10毫弧度  分辨率达50纳弧度  线性行程达30微米（用于运行时调整）  紧凑型三脚设计  亚微秒级响应时间  闭环版本可实现更高精度  用于直径长达25 毫米（1英寸）的反射